Патенты с меткой «тонкопленочныхконденсаторов»

Номер патента: 834788

Опубликовано: 30.05.1981

Авторы: Волкова, Мишанин, Назаров, Пиганов, Чернобровкин

МПК: H01G 13/00

Метки: тонкопленочныхконденсаторов

...в этом случае практически исключается кристаллизация алюминиевых элект родов (обкладок) при повторных нагревах. Нанесение каждого последующего слоя на подложку, температура которой не прввьппает 0,9 от температуры нанесения предыдущего слоя, также по зволяет увеличить электрическую прочность, так как такой режим исключает кристаллизацию алюминиевых электродов. Известно, что кристаллизация алюминиевых электродов ведет к сниже- З 5 нию электрической прочности. 88 Ака и верхней обкладки- 2,5 мин.Тонкопленочные конденсаторы имеютэлектрическую прочность Е = (3,0-3,3) 1 О В/см, б= 0,002-0,004.П р и м ер 2. Изготовляют тонкопленочные конденсаторы на основе А 1-СеО-А 1. Температура подложки при нанесении слоев составляет: Т =290, Т 2 = 210 и Т =...