Патенты с меткой «тонкопленочньх»

Номер патента: 294191

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Ибл, Сапронова

МПК: H01G 4/10

Метки: двуокиси, диэлектрик, конденсаторов, марганца, нанесения, тонкопленочньх

...катодцым распылением, с подслоем титана с алюминием, нанесенным термическим распылением ца силалловую подложку. Рисунок соответству ющей конфигурации получают фотолитографическим способом. Затем подложка со слоями Т 1 - Л 1 - Та помещается в электролитическую ванну. Гновое анодирование проводится в 0,030/,-ном водном растворе винной кислоты с рН 5 - 6. Далее пленка окисла проходит цикл тсрмообработки прц температуре 200-1-10 С в течение 5 час ц обрабатывается в 0,1 %-ном 5 растворе Мп(.Оз)2 в этцловом спирте прикатодцом ьключепцц в течение 1 - 10 итти при напряжении, равном т/в напряжения формовки диэлектрика. Время травления выбирается в соответствии с толщиной и качеством 10 диэлектрика.Повторное анодирование проводится црианодцом...