Патенты с меткой «толжины»

Номер патента: 603836

Опубликовано: 25.04.1978

Авторы: Лопухин, Малышев, Шелест, Шеханов

МПК: G01B 7/06

Метки: пленок, проводящих, толжины

...8 в исходное положение иблок 3 выработки опорного сигнала ддяустановки опорного сигнала, соответству-си нвл, соответств-с35 включения исполнительного блока 5. Генераторщего заданной толщине контролируемо плени олируемой плен- сигналов подает тестовый сигнал на датчикки, первую схему 4 сравнения.ддя сравнения 2 и блок 3, уставки которого выдают опорный сигнал, соответствующий конечному сгсигнала с датчика, несущего информациюо текущей толщине пленки с опорным сигне., противлению пленки толщиной д , датчиклом и исполнительный док ддя включею, 40 2 преобразует тестовый сигнал в сигнал,ния и выключения процесса напыления плен пропорциональный сопротивлению контролируемой пленки. Сигйвлы с выхода лока,С йвл б ка 3ки, причем выход...