Патенты с меткой «толщиныоптически»

Номер патента: 845804

Опубликовано: 07.07.1981

Авторы: Гернот, Ханс-Петер, Хорст

МПК: G01B 11/06

Метки: слоев, толщиныоптически, тонких

...не показаны) подвижнав радиальном направлении относительнокорпуса 28. Соединение между приемниками излучения 16, 18 и корпусом выполнено с помощью штекеров 32, ЗЗ,Работе устройства заключается в следующем.Во время процесса напыления луч от источника 1 проходит через узел прерывания излучения 2 и попадает на светоделитель 3. Благодаря светоделителю3 часть измерительного луча под углом90 отклоняется и попадает на опорныйоцриемник 18, а прошедшая через свето- делитель часть измерительного луча проходит через окно 11 и попадает настекло 9, расположенное на оптическойоси системы. От объекта измерения частьизмерительного луча отражается и пооптической оси отклоняется обратно насветоделитель 3. От светоделителя приходящая из вакуумной камеры...