Патенты с меткой «толщинынапыляемых»

Номер патента: 813128

Опубликовано: 15.03.1981

Автор: Устинов

МПК: G01B 7/06

Метки: пленок, толщинынапыляемых

...устройстводля контроля толщины напыляемых пленок на основе свидетеля на диэлектрической непрозрачной подложке.На поверхности свидетелея 1 на 15основе подложки 2 из ситалла на некотором расстоянии друг от другананесены пленочные металлическиеэлектроды 3, соединенные через выводы 4 с измерителем 5 электрическо Ого сопротивления. Над поверхностьюсвидетеля 1 на расстоянии и установлена металлическая маска 6 с расположенными вдоль оси свидетеля отверстиями 7Маска Фиксирована наподложке 2 с помощью опорных прокладок 8 и пружинных зажимов 9. Намежэлектродную зону 10 на участках11, находящихся под отверстиями 7маски б напылен толстый слой 12пленки, а на участках 13, закрытыхмаской 6 - тонкий слой 14 боковогоподпыла под маску.Устройство...