Патенты с меткой «сверхчистых»

Номер патента: 1712474

Опубликовано: 15.02.1992

Авторы: Атаев, Камилов

МПК: C30B 23/02

Метки: пленок, сверхчистых

...границе, Моноэнергетические ионы с массой Мо после отклонения в поле продолжают двигаться в виде параллельного пучка, Если пучок на выходе из магнитного поля пропустить через продольные каналы коллектора 10, образованные тонкими металлическими перегородками, то на подложку попадут только ионы с массой Мо. Ионы с отличными от Мо массами из-за движения по свертывающимся М 1 Мс) и развертывающимся (МоМ 2) спиралям не пройдут через узкие каналы, Разрешающая способность такой системы определяется соотношением ширины одиночного канала к его длине, Известно, что подобные устройства позволяют создать анализаторы большой светосилы, что важно для обеспечения практически приемлемых скоростей осаждения пленок. Заметим также, что в установке...