Патенты с меткой «свч-плазменной»

Номер патента: 1568805

Опубликовано: 25.07.1995

Авторы: Аристов, Богомолов, Боков, Иванов, Редькин, Самсонов

МПК: H01L 21/302

Метки: свч-плазменной

1. УСТРОЙСТВО СВЧ-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ, содержащее реакционную камеру, огибающий ее волновод прямоугольного сечения, электромагниты, газовводы, проходящие перпендикулярно оси камеры через волновод, электрод-пьедестал, выполненный с возможностью осевого перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности обработки за счет увеличения скоростей травления и осаждения, а также регулирования состава плазмы, оно содержит изолированный от корпуса электрод-газораспределитель, размещенный параллельно электроду-пьедесталу и выполненный с возможностью осевого перемещения.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества обработки, электрод-пьедестал снабжен элементами подогрева и охлаждения.