Патенты с меткой «спектроэллипсометр»

Номер патента: 1495648

Опубликовано: 23.07.1989

Авторы: Рыхлицкий, Соколов, Федоринин

МПК: G01J 4/04

Метки: спектроэллипсометр

...и взаимно ортогонально. С помощью линз 11 и 12 в плоскость установки модуляторов 13 и4 проецируется двойное изображение выходной щели моно1495648 3хроматора. Линзами 15 и 16 излучени проецируется на фотоприемники 17 и 18, Падакгщее 1 га модулятор пространственно разделеццге излучение модулируется в противо- (1)зс,11 рн н ци п ра боты спектроэллипсо метра заключается в установке азимутов ориентации поляризатора 5 и двоякопреломляющих призм 9 и 10 обоих измерительных каналов в такие положения, когда интенсивности пространственно разделенных ортого О нально-поляризованных световых пучков в каждом канале равны между собой. При этом в фототоке приемников 17 и 18 отсутствует модуляционная составляющая, а азимуты ориентации поляризатора 5 и...