Патенты с меткой «шаблонная»
Контрольная шаблонная пара для оценки взаимозаменяемости установок проекционного совмещения и экспонирования
Номер патента: 1157595
Опубликовано: 23.05.1985
Авторы: Гриднев, Моисеенко, Шараев
МПК: H01L 21/66
Метки: взаимозаменяемости, контрольная, оценки, пара, проекционного, совмещения, установок, шаблонная, экспонирования
...фоторезиста (контрольную пластину )экспонируют с помощью первого контрольного шаблона на этаз 1575 лонной установке совмещения и экспонирования. Затем контрольную пластину экспонируют на контролируемой установке с помощью второго контрольного шаблона по той же же программе мультипликации, После проявления контрольной пластины на ней образуется изображение нониусных шкал, вписанных одна в другую (фиг,41. Затем визуально под микроскопом снимают О показания нониусных шкал на контрольной пластине и рассчитывают параметры рассовмещения,Анапиэ взаимозаменяемости установок проводят в два этапа. На первом 5 этапе - анапиз внутримодульного рассовмещения, обусловленного взаимным оптическим немасштабом, взаимным разворотом фотошаблонов и...