Патенты с меткой «сглаженного»
Способ создания сглаженного рельефа в интегральных схемах
Номер патента: 1766214
Опубликовано: 15.08.1994
Авторы: Валеев, Железнов, Красников, Кузнецов, Лезгян, Наливайко
МПК: H01L 21/306
Метки: интегральных, рельефа, сглаженного, создания, схемах
1. СПОСОБ СОЗДАНИЯ СГЛАЖЕННОГО РЕЛЬЕФА В ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМАХ, включающий формирование на полупроводниковой подложке с активным и пассивным элементами проводников различной ширины, нанесение диэлектрической пленки, формирование фоторезистивной маски с окнами над центральной частью проводников, травление диэлектрической пленки, удаление фоторезиста и формирование переходных контактных окон, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет упрощения и повышения воспроизводимости процесса сглаживания диэлектрика, наносят диэлектрическую пленку толщиной h 2,5 d, где d - толщина проводников, травление диэлектрической пленки проводят жидкостным методом на глубину,...