Патенты с меткой «себежко»

Способ себежко в. н. получения скрытого изображения на пленочном фоторезисте и устройство себежко в. н. для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 2004083

Опубликовано: 30.11.1993

Авторы: Бутовецкий, Коломникова, Крупнов, Себежко

МПК: G03F 7/20, H05K 3/00

Метки: изображения, пленочном, себежко, скрытого, фоторезисте

...фотокомпозиции без видимойее вертикальной составляющей обьясняется, например, разницей более чем в два разалинейных размеров формируемого рисункаиз фоторезиста в этих плоскостях, т.е. в данном случае при толщине пленочного фоторезиста 50 мкм ширина формируемого изнего элемента составляет 125 мкм,Исходя из рассмотренной информации,возможности существующих сухих пленочных фоторезистов, например, по разрешающей способности могут быть расширены,если управлять величиной 2 Ьх. Для этогообратимся к фиг. 2.На фиг, 2 а показана известная совокупность элементов в вакуумной раме установки экспонирования перед формированием вфотокомпозиции скрытого изображения, Нафиг. 26 схематично показано начало усадкифотокомпозиции под...