Патенты с меткой «сапфировой»

Номер патента: 1127526

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Итиро, Сигеказу

МПК: B24B 7/22

Метки: вафли, сапфировой, шлифования

...к направлению нормальногоонаклона слоев:в направлении наклона слоев и в направлении, противоположном направлению наклона слоев. Величина искривления отшлифованных образцов вафли измерялась с обратной стороны вафли. В тех случаях, когда вафля шлифовалась в обычном направлении (фиг. 2), ее искривление достигало 75 мкм, Кроме того, вафля приобретала неправильную форму. Этот недостаток, по-видимому, связан с тем, что шлифование выполнялось в направлении, противоположном наклону слоев, что приводило к заметному повреждению вафли и появлению микротрещин большой глубины и плотности, а также к значительным остаточным напряжениям. В тех случаях, когда образцы шлифовались в направлении, противоположном направлению нормального наклона слоев (Фиг....