Патенты с меткой «размеровмикрообектов»

Номер патента: 838326

Опубликовано: 15.06.1981

Авторы: Александров, Ильин, Старков

МПК: G01B 11/08

Метки: линейных, размеровмикрообектов

...1 в, д. е) полосы в местах наложения или разъединения полуконтрастных изображений. При этом величина наложения или разъединения полуконтрастных изображе ний одного и того же элемента соответствует отклонению действительного размера ширины элемента от его номинального значения (фиг. 1 д, ж), величина наложения или разъединения полуконтрастных изображений от соседних элементов соответствует комплексной погрешности, т. е. сумме погрешностей шага структуры и погрешностей ширины ее элементов (фиг. 1 в, г, д, е, ж). При движении микроструктуры осуществляют последовательную регистрацию всех гра О ниц соприкосновения полуконтрастных изображений фотоэлементом, длительность выходного электрического сигнала которого в общем случае...