Патенты с меткой «размеровэлементов»

Номер патента: 823852

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Волков, Герасимов, Ларионов

МПК: G01B 11/02

Метки: объектах, плоских, размеровэлементов

...измеряемого размера, низкая производительность, связанная с необходимостью сканироО,вания восстановленного изображения.823852 Формула изобретения НИИПИ Заказ 2083/54 Тираж 642 ПодпйсноШеевП "Патент", г.ужгород, ул.Проектиа Цель изобретения - повышение точности и производительности измерения.Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено зеркалом, установленным в Фокусе второй линзы с возможностью поворота относительно оптической оси.На чертеже представлена оптическая схема. устройства для измерения размеров элементов на плоских объектах. Предлагаемое устройство содержитпоследовательно расположенные на одной оптической оси источник 1 коге"рентного света, квантовый генератор, 15первую линзу 2, устанавливаемую нафокусном...