Патенты с меткой «проводящуюподложку»

Номер патента: 203930

Опубликовано: 01.01.1967

Автор: Деркач

МПК: G01B 15/02, G01B 7/06

Метки: вакуумной, диэлектрика, камере, наносимого, проводящуюподложку, толщины

...(коэффициент) которых зависит от толщины слоя диэлектрика,На чертеже приведена схема измерения, В вакуумную камеру 1 помещают электронную пушку 2, с помощью которой периодически облучают сфокусированным лучом одну точку пленки 3, наносимую на проводящую подложку 4, и измеряют импульсы тока, возникающие в результате заряда участка диэлектрика и потока вторичной электронной эмиссии на коллектор 5. Величина импульсов тока находится в функциональной зависимости от толщины пленки. Этн импульсы могут быгь использованы дл автоматического воздействия на технологи ческий процесс,д оорс пяСпособ измерения толщины диэлектрика, наносимого в вакуумной камере на проводящую подложку, основанный па зависимости вторичной эмиссии тонких слоев...