Патенты с меткой «про-цессе»
Устройство для контроля толщиныпленок многослойных покрытий в про-цессе напыления
Номер патента: 508666
Опубликовано: 30.03.1976
Авторы: Александров, Кацнельсон, Фурман
МПК: G01B 11/02
Метки: многослойных, напыления, покрытий, про-цессе, толщиныпленок
...половины выходной щели спектрального прибора, а модулятор установлен с возможностью поочередного перекрытия верхней и нижней половин выходной щели,Такое выполнение устройства позволяет повысить его точность.На фиг. 1 изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - схема спектрального прибора. Отраженный оптическим элементом 8 (зеркалом) параллельный пучок света направляет ся на два дпспергпруощих элемента 6 и 7,Днспергнрованный элементамп 6 и 7 лучистый поток фокусируется элементами 8 и 9, ца выходную щель 5. Поток, диспергированный элементом 6, проходит чсрез верхнюю полови ну щели (луч 1), а элементом 7через нижьцою половит 1 (луч 11). Л 1 чи 1 н П - моно- хроматические с разной длиной л, и л, волны.По ходу лучей за щелью 5...