Патенты с меткой «прецезионное»

Номер патента: 1048447

Опубликовано: 15.10.1983

Авторы: Болдышев, Вевюрко, Кушнир, Медушев, Ремизов, Стома, Шереметевский

МПК: G02B 26/10

Метки: отклоняющее, прецезионное

...помощи подшипниковых опор15 скреплена с основанием 7 Устройства. Возможен вариант выполненияустройства, при котором рама 12 смагнитными системами 10 и 11 .устанавливается на одноосной опоре, содержащей одну пару подшипников 12 и15. Интерферометрический измерительперемещений зеркала 1 по каждой иэдвух осей поворота содержит оптические отражатели в виде трипель-приэм 16, систему зеркал 17, Фотоприемники 18 (на фиг. 1 элементы 17 и18 показаны для одной оси) и лазерный источник излучения 19. Оптические отражатели 16 закреплены на тыльной стороне зеркала 1. Элементы интерферометра 17-19 жестко связаны снеподвижным основанием 7. Кроме того,отклоняющее устройство снабжено устройством центрирования магнитной системы, выполненным, например, в...