Патенты с меткой «полупроводниковб1х»

Номер патента: 203788

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Аверкин, Замбровский, Нежинский, Пельцман, Элиосов

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, кассета, пластин, полупроводниковб1х

...обработки пметров и фиксации их непа в виде цилиндра причем в каждой пар по образующей конуса. отки полупро. аяся тем, что, азличных диате, она выпольными пазами, дин выполнен Известные устройства для групповой обработки полупроводниковых пластин представляют собой кассеты прямоугольной формы с пазами для вертикального расположения заготовок. При выполнении операций, связанных с вращением заготовок, например сушки на центрифуге производится перекладка заготовок из кассеты в специальное устройство, фиксирующее их при вращении. При этом не исключена возможность загрязнения заготовок, что в полупроводниковом производстве недопустимо, Кроме того, сама перекладка, производимая, как правило, в герметичных скафандрах является трудоемкой...