Патенты с меткой «полиаллилоксикарбонилпентенамеры»
Полиаллилоксикарбонилпентенамеры в качестве светочувствительной основы фоторезиста
Номер патента: 1073241
Опубликовано: 15.02.1984
Авторы: Алыев, Гасанова, Гулиев, Нефедов, Рамазанов
МПК: H01L 51/00
Метки: качестве, основы, полиаллилоксикарбонилпентенамеры, светочувствительной, фоторезиста
...эфир .2-изопропенкл-циклопропанкарбоновой 1-кислоты (И 1) в количестве 4,32 г.(0,026 г-моль), динитрила азо-изомасяной кислоты в количестве 0,0832 г1 от веса исходных соединений)Выход 3,02 г (70), Г = 0,106 дл/гр/ММ = 6200.П р и м е р б. Полимеризациюпроводят аналогично примеру 1 заисключением того, что в качестве.мо"номера используют аллиловый эфир2-метил-.2-изопропенил циклопропанкарбоновой-кислоты (1 М ) в количестве 4,68 г ( 0,026 г-моль),динитрилааэо-изомасляной кислоты в количестве0,0868 г (1 от веса исходных соединений). Выход 3,42 г (73), Щ =0,094 дл/гр, ММ = 5800.Свойства полученных полимеровпризедены в табл. 1 (растворительбензол, температура 70 С, продолжительность 8 ч, концентрация инйциатора 6 10" мол/л).Испытания...