Патенты с меткой «пйтг»
Микроманипуляторесеооюня пйтг”: ; и. г”; •••• • i”;: j_ г.: . •; •.
Номер патента: 370745
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Борецкий, Замбровский, Лапин, Мамаев
МПК: H05K 3/00
Метки: микроманипуляторесеооюня, пйтг
...ползун 24, который перемещается вместе с поршнем.Для совмещения рисунков, расположенных в параллельных плоскостях, необходимо переместить их в горизонтальной плоскости в направлении осей Х - Х и У - У, а также повернуть вокруг вертикальной оси Л. Это достигается в том случае, если между полупроводниковой лластиной и фотошаблоном 48 имеется зазор совмещения, равный нескольким микронам. Для этой цели служит механизм подъема и выхода на зазор совмещения. Через штуцер 54 к поршню 29 тормозного механизма подают сжатый воздух. Поршень 29 приводит в движение клин 31, передающий давление через шарик 28, шпонку 27 на цилиндрический ползун 24, Последний под действием клина 31, выбирая зазор посадки, прижимается к втулке 2 б и...