Патенты с меткой «оже-спектрометр»

Номер патента: 795308

Опубликовано: 15.04.1984

Авторы: Волков, Красненьков, Менабде, Овчинников, Потапов, Судак

МПК: H01J 49/44

Метки: оже-спектрометр

....в которой расположены запорный клапан; манипулятор и держатель. образца, аналитическую камеру с Оже-анализатором типа цилиндрического зеркала, корректирующими кольцами электронной, пушкой 123 .Эта система сложна конструктивно, громоздка и не обеспечивает оперативной смены анализируемых образцов.Целью изобретения является сокращение времени измерения и упрощения конструкций.Цель достигается тем, что в Ожеспектрометре, содержащем шлюзовую камеру, в которой располагается запорный клапан, манипулятор и образец, аналитическую камеру с Оже-анализатором типа цилиндрического зеркала, корректирующими кольцами и электронной пушкой, аналитическая и шлюзовая камеры объединены в одном корпусе и разделены перегородкой с отверстием выполненным в...