Патенты с меткой «оптическихповерхностей»

Номер патента: 834800

Опубликовано: 30.05.1981

Автор: Тузов

МПК: H01J 37/30

Метки: оптическихповерхностей

...при этом плавно регулируемая диафрагма 7 раскрывается до необходимого значения эффективного диаметра, а заслонка 8 в зависимости от Формы обрабатываемого участка поверхности открывает 00 6 частично или полностью отверстиедиафрагмы 7.Плазменный пучок, пройдя черездиаФрагму 7, бомбардирует поверхность изделия 3 и распыляет ее. При угле 60 д+10 падения ионов пучка достигаетася, с одной стороны, высокая скоростьобработки, а с другой - узкая диаграмма направленности распыленного материала, Последнее обуславливает возможность экранирования распыленногоматериала с помощью ловушки 10, чтодает возможность полностью исключитьего осаждение на обрабатываемую поверхность.Одновременно система 6 контроляза Формообразованием в виде электрического...