Патенты с меткой «микроприбора»
Способ изготовления тонкопленочного вакуумного микроприбора
Номер патента: 1729243
Опубликовано: 10.11.1995
Автор: Татаренко
МПК: H01J 21/10
Метки: вакуумного, микроприбора, тонкопленочного
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ВАКУУМНОГО МИКРОПРИБОРА, включающий нанесение на подложку проводникового металлического слоя, формирование диэлектрического слоя с ячеистой матрицей сквозных отверстий путем анодного окисления, и формирование анода и многоэмиттерного острийного катода с расположением отдельных острийных эмиттеров в пределах каждой ячейки, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных микроприборов за счет улучшения их электрических параметров, на подложку наносят двухслойную проводниковую структуру, состоящую из подслоя вентильного тугоплавкого металла и слоя алюминия а после анодирования алюминия на поверхности образованного пористого анодного оксила алюминия формируют защитную маску в области топологии анода и...