Патенты с меткой «мдп-ис»

Номер патента: 1840164

Опубликовано: 27.06.2006

Авторы: Барышев, Сидоров, Столяров, Чухраев

МПК: H01L 21/66

Метки: качества, мдп-ис, процесса, технологического

Способ контроля качества технологического процесса изготовления МДП-ИС, заключающийся в измерении вольт-фарадных характеристик МДП-структур, отличающийся тем, что, с целью повышения качества контроля технологического процесса, измерение производится на МДП-конденсаторах, размещенных в тестовых модулях рабочих пластин, позволяющих проводить измерение с помощью зонда с жидким электродом до проведения технологической операции металлизации.