Патенты с меткой «массэнергоанализатор»

Номер патента: 1290431

Опубликовано: 15.02.1987

Авторы: Волков, Михайлов, Сливков

МПК: H01J 49/26

Метки: массэнергоанализатор

...динамический диапазон по энергии 10 . Таким образом, магнитное поле круглых полюсов хорошо сочетается с предложенной системой электростатического отклонения, позволяя реализовать заложенные в ней возмож -ности.Для улучшения параметров прибора можно выбрать отличный от нуля угол ю, входа пучка ионов в анализатор.Это позволяет при этом же зазоре 1 увеличить отклонение Е , а следовательно улучшить разрешение.Действительно, если пучок входит в отклоняющие пластины с длиной К, и зазором 3 Е, почти касаясь одной из пластин, и выходит, почти касаясь другой, угол выхода пучка из пластин определяется соотношением Если пучок входит в ту же систему наклонно под углом с( у края верхней пластины, испытывая отклонение в направлении Е,...