Патенты с меткой «криооткачки»

Номер патента: 1439279

Опубликовано: 23.11.1988

Авторы: Иванов, Олейников, Шнырев

МПК: F04B 37/08

Метки: криооткачки

...4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относистя к вакуумной технике, а именно к способам откачки объемов при помощи криогенных средств.Цель изобретения - повышение быстроты криооткачки.На чертеже представлена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.Устройство содержит камеру 1 и раэ.10 мещенную в ней внутри экранов 2 крис" панель 3, охлаждаемую при помощи криогенератора 4. К камере 1 подсоединены внешний насос 5 и напускной вентиль 6, а напротив криопанели 3 уста новлен излучатель 7.Способ осуществляют следующим образом.Криопанель Зи экраны 2 охлаждаются и в камеру 1 через вентиль 6 подает 2 О ся рабочий газ, который десублимируе тся на криопанели 3 с образованием...