Патенты с меткой «корпускулярно-зондовое»

Номер патента: 727045

Опубликовано: 07.06.1981

Авторы: Паутов, Эдельштейн

МПК: H01J 37/26

Метки: корпускулярно-зондовое

...соответственно=35,01 см и С -- 3,17 см гКэв.Цель изобретения - повышение разрешающей способности устройства.Это достигается тем, что электроды каждой и ры фокусирующей системы выполнены несимметричными один относительно другого, а форма их рабочих поверхностей обеспечивает на оси корпускулярно-зондового устройства между электродами каждой пары распределение потенциала н виде Ф 1):Ч+ ( Ч-Ч) 51 й 2 д 2гаях ИгО. СМ ИОО 5 (Е У,/26.1 се а рабочая потрода - выражее /при второго эле5(Е 2/28 ) где 2 - текущая координата вдоль о си устройства, длина каждои пары электродов; З 5 Ч и Ч - потенциалы первого и второго электродов пары относительно потенциала катода соответственно; а - безраэмер- щ ный параметр, определяемый расстоянием между...