Патенты с меткой «концентрациипримеси»

Номер патента: 689423

Опубликовано: 07.08.1981

Автор: Нахмансон

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: концентрациипримеси, полупроводниках, профиля

...имеемили, используя (3),Если величина О является гармонической функцией времени0 = Оэ 1 им, и = 2 ЙЕ,то из (б) следует, что перная гармоника фото-ЭДС пропорциональна Сч т.е., согласно (1), пропорциональнакоординате х, а вторая гармоникафото-Эдс пропорциональна а(С )/а 1),т.е., согласно (2), пропорциональна1/И(х). Если величина 0 являетсясуммой двух гармонических величин то обе первые гармоники фото-ЭДС пропорциональны х, а обе вторые гармоники фото-ЭДС, а также сигналы фото ЭДС на комбинационных часто.тах Е + Г и Г 1 - Г пропорциональны 1/Я(х).В принципе для измерений достаточно использовать один световой поток, модулируемый с частотой Г/Г 1 = х /, для более точных измерений концентрации (1(х) предпочтительнее использовать два...