Патенты с меткой «изображенияшаблона»

Номер патента: 847401

Опубликовано: 15.07.1981

Авторы: Грудинский, Гурский, Пятецкий

МПК: H01L 21/00

Метки: изображенияшаблона, подложке, фокусировки

...моделиподложка - пленка - датчик и зависящие от показателей преломления пленки и подложки. 50Коэффициенты а,в,с вычисляются предварительно для всех возможных показателей преломления пленки и подложки.Для этого по рассчитанным зависимостям ошибки фокусировки 2 от толщиныпленки (фиг. 1, кривая а) и производной О разностного сигнала по дефокусировке от толщины пленки (фиг. 1,кривая б) строят график разности лмежду величиной 2 и величиной, пропорциональной О от ОА= 2 - КО, (2)где К - коэффициент пропорциональности, выбираемый таким, чтобы величины2 и О были одного порядка и размерности. 65 Так как функция О периодична и ее период совпадает с периодом функции 2, график разности э.гих функций в зависимости от О представляет собой...