Патенты с меткой «изматериалов»

Номер патента: 804160

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Алюшин, Дзуцев, Доронькин, Кесаев, Королев, Морозова, Соркин

МПК: B21J 5/00

Метки: ochobe, вольфрама, изматериалов

...слоя с исходной заготовкой необходимо, чтобы поверхность последней была чистой от окислов. вольфрама, которые начинают восстанавливаться водородом при температурах выше 700 С. Поэтому процессоосаждения необходимо начинать притемпературе выше 700 С. С другой стооны, повышение температуры выше 800 С нецелесообразно, так как полнота восстановления ИГ 6 при образовании плотных осадков вольфрама снижается. После образования прочносцепленного слоя температуру процесса следует снизить до 500-600 С, где обеспечивается наиболее высокая производительность процесса и эффективность восстановления гексафторида вольфрама,Предложенный состав газовой смеси в сочетании с вышеуказанными температурами обеспечивает получение наиболее чистого и потому...