Патенты с меткой «ик-спектрометр»

Дифракционный ик-спектрометр для исследования тонких пленок

Номер патента: 1514046

Опубликовано: 27.11.1998

Авторы: Жижин, Силин, Сычугов, Яковлев

МПК: G01J 3/18

Метки: дифракционный, ик-спектрометр, исследования, пленок, тонких

Дифракционный ИК-спектрометр для исследования тонких пленок, содержащий оптически связанные источник зондирующего излучения, выполненный в виде преобразователя объемного излучения в поверхностную электромагнитную волну, держатель образца, решеточный диспергирующий элемент, выполненный в виде периодически гофрированного участка на металлизированной плоскости пластины и имеющий период, соответствующий условию отражения Брэгга, и приемник излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и уменьшения габаритов, спектрометр дополнительно содержит коллимирующую и фокусирующую системы, выполненные в виде цилиндрического вогнутого зеркала, через которое оптически связаны источник дозирующего излучения, решеточный диспергирующий...