Патенты с меткой «эллипсометрии»

Способ частотно-модуляционной эллипсометрии

Загрузка...

Номер патента: 1060955

Опубликовано: 15.12.1983

Авторы: Конев, Любецкий, Пунько, Тиханович

МПК: G01J 4/04

Метки: частотно-модуляционной, эллипсометрии

...судят об изменении в состоянии поляризации, происшедшем в результате взаимодействия электромагнитной волы с исследуеьым объектом, Так как поляризационные углы, которые необходимо иэмерйть и которые являются количественной мерой изменений состояния поляризации, происшедших в результате взаимодействия электромагнитной волны с исследуемым объектом, зависят от частоты падающего излучения, то модуляция падающего излучения по частоте по периодическому закону с низкой постоянной частотой Г приводит к относительной амплитудной и фазовой модуляции одной ортогональной сос" ,тавляющей относительно другой. Фазовая модуляция приводит к относи-тельному сдвигу частоты одной из ортогональных составляющих. В результате на выходе балансного смесителя...