Патенты с меткой «эллипсометрической»

Номер патента: 1140009

Опубликовано: 15.02.1985

Авторы: Котенев, Фокин

МПК: G01N 21/21

Метки: спектроскопии, эллипсометрической

...помощью источ:шка 1 излучения, линзовой системы 2 и моцохроматора 3, модулируется по разности фаз между ортогоцальцо поля ризовацными компонентами излучетшяпомощью возбуждалтого генератором фазового модулятора 5 в состав которого входят расположенные последовательно по ходу луча поляризатор и акгивцый элемент. Далее излучение падает ца исследуемую систему, закрепленную в держателе 6, Отраженное от исследуемой системы т.злучецие проходит через фазосдвигающе устройство 7, сдвиг фаз в котором изменяется и регистрируется, проходит через поляризатор 8 и падает на фотоприемцик 9. Элс.т(тртптесктттт сигнатт с :1 тотоприемника 9 усиливвтся тт широт(опсрл(рстцрл ттредусилителс 10 и далее разделяется на два канала, В первом из цих выделяется и...