Патенты с меткой «электро-статической»

Номер патента: 806388

Опубликовано: 23.02.1981

Авторы: Гаршин, Гуляев, Лагунов

МПК: B24B 57/00

Метки: абразивныхзерен, осаждаемости, электро-статической

...верхнему электроду улавливающей подложки и очисткойкамеры перед каждым очередным измерением.Кроме того, для компенсаций. изменениямежэлектродного зазора при осуществлении контролятребуется введение сложного электронного оборудования (аналоговое вычислительное устройство, блоксравнения перемещений электрода и т.д.),Цель изобретения - повышение точности определения электроосаждаемостии снижение трудоемкости контроля.Поставленная цель достигается тем,что в устройстве верхний электрод выжааем в виде вращающегося цилиндра, анижний - в виде неподвижного полуцилиндра. Это позволяет повысить точностьизмерения не менее, чем вдвое за счетстабилизации зазора между электродами иснизить трудоемкость измерения в 3-4 раза за счет обеспечения выброса...