Патенты с меткой «двухслойнойтары»

Номер патента: 819854

Опубликовано: 07.04.1981

Авторы: Саркисян, Чубич

МПК: H01L 21/00

Метки: двухслойнойтары, раскрытия

...каналов 6 открывается к поверхности 7 стола.Устройство снабжено также захватнымэлементом 8 в виде конического стакана, соединенным с приводом возвратно-поступательного движения. На периферии стакана выполнены щелевые вакуумные присосы 9, которые каналом 10 соединены с вакуум О ной магистралью 11, Между присосами 9внутри стакана 8 закреплен прижим в.виде объемно-упругого элемента, состоящего из упругого демпфера 12 с выпуклой сферической поверхностью 13 и прокладки 14.819854 Фиг. Г ФиГ Елк Составитель Аред А. Бойкасаж 784ственного кобретений и- 35, Раушсг. Ужгород актор Б.Федотоваз 1291/30ВНИИ Корректор Е. РошкоПодписноеСССРийд. .4/5роектная, 4 Государ ела м изо сква, Ж Патент митета открыт ая иабул. П 113035, Милиал ППП Пакет 2 состоит...