Патенты с меткой «дублета»

Способ юстировки квадрупольного дублета

Загрузка...

Номер патента: 997133

Опубликовано: 15.02.1983

Автор: Зайцев

МПК: H01J 29/54

Метки: дублета, квадрупольного, юстировки

...5ющей системы при этом соответствуетзначению, полученному нри юстировке.первой линзы. Траектория 7 в отличиеот траектории б не проходит черезцентр первого квадруполя, поэтому.при 40включении в первый квадруполь переменного напряжения получают изображениес нарушенной симметрией. Далее операции юстировки повторя ют. Юстируя первой отклоняющей системой первую линзу, получают траекторию 8. Угол отклонения пучка второй системой при этом соответствует значению, полученному в результате предыдущей операции. Затем, юстируя вторую линзу, получают траекторию 9.Таким образом, в результате проведения операций юстировки ось пучка приближается к траектории 10 - такому положению, когда первая отклоняющая система направляет ось пучка в . точку, в...