Патенты с меткой «десорбирующих»

Способ определения параметров частиц десорбирующих с электропроводящей поверхности

Загрузка...

Номер патента: 1820301

Опубликовано: 07.06.1993

Авторы: Корн, Шувалов

МПК: G01N 5/04

Метки: десорбирующих, параметров, поверхности, частиц, электропроводящей

...определять Г по силовой характеристике (фиг.4),При этом для образца, выполненного в30 виде плоской пластины или диска, характер-.ный размер которого В Яд, гдето - дебаевский радиус в невозмущенной плазме,влиянием электростатических сил можнопренебречь (их вклад в общий баланс сил35 пренебрежимо мая) (8).Наличие Гл на силовой характеристикеявляется результатом действия на поверх, ность десорбирующих частиц и медленныхионов, возникших при иониэации десорби 40 роаанных частиц набегающим потоком.В области высоких отрицательных потенциалов на.силовой характеристике (фиг.З)Гл - Гд - Г" определяется только десорбированнымй нейтральными частицами (вто 45 ричные медленные ионы здесь отсутствуют,. об этом свидетельствует ионный ток ВАХ)Гу = Г,ь...