Патенты с меткой «бескислородного»

Номер патента: 1742862

Опубликовано: 23.06.1992

Авторы: Андриянов, Магунов, Сухарев, Цацко

МПК: H01B 3/02

Метки: бескислородного, диэлектрика, термостабильного, тонкопленочного

...цель достигается тем, что в качестве термостабильного бес кислородного тонкопленочного диэлектрика применяют твердый раствор фторидов скандия и неодима, получаемый термическим испарением в вакууме,при следующем содержании компонентов, мас,; 40Фторид скандия 17,84-82,01Фторид неодима 17,99-82,16Пределы содержания компонентов в твердом растворе обусловлены тем, что при выходе содержания фторида неодима 15 за границы интервала не обеспечивается повышение величины удельного заряда.Сущность способа состоит в использовании термического испарения в вакууме композиции, содержащей фтори ды скандия и неодима, для получения термостабильного бескислородного тонко-. пленочного диэлектрика с высоким удельным зарядом,.55П р и м е р 1, Получение...