Патенты с меткой «413216»

Номер патента: 413216

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: C23C 8/00

Метки: 413216

...сделаны прорези 7, а в верхней - центрирующие выступы 8, являющиеся одновременно упорами для решетки 9. Детали 10 и элемент покрытия 11, предназначенный для диффузионного насыщения поверхности деталей, подвешиваются к решетке 9. Герметичный муфель 3 сообщается с сосудомнаполнителем 12, имеющим систему нагрева и предназначенным для испарения галогенида диффундирующего элемента. Через холодильник 13 муфель 3 соединен с откачной системой, циркуляционным насосом 14 и сосудомутилизатором 15.Работает установка следующим образом.Детали 10 и элемент покрытия 11 подвешивают на решетке 9, закрывают крышку 4 н создают в муфеле 3 разрежение 10 - 10 -мм рт. ст. при помощи форвакуумпого насоса 16, перед которым установлен фильтр 17. Включают нагрев...