Патенты с меткой «305375»

Номер патента: 305375

Опубликовано: 01.01.1971

МПК: G01R 9/08

Метки: 305375

...Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 шлифа этот слой сохраняется только на поверхностях, не подвергшейся обработке, что позволяет определить линию пересечения косого шлифа с поверхностью эпитаксиального или диффузионного слоя.Данный способ выявления линии пересечения плоскости косого шлифа с малым углом наклона и поверхности кремния был использован при исследовании распределения примесей по толщине кремниевых эпитаксиальпых слоев и-типа проводимости с удельным сопротивлением 0,2 - :0,5 Олг сл на 5 г+-кремниевых подло 5 кках с удельным сопротивлением 0,01 Олг слг методом измерени 51 напряжения пробоя контакта металл-полупроводник. Эпитаксиальные структуры окислялись во влажном кислороде при 1050 С в течение 10 мин для...