Патенты с меткой «2al2o3»

Номер патента: 1827957

Опубликовано: 20.03.1996

Авторы: Ерусалимчик, Рогов, Савушкин

МПК: B24B 37/04

Метки: 2al2o3, доводки, основе, пластин, твердых

...01=40 мм иэ фтоопласта(площадь инструмента 3=0,01 м ), На рабочей поверхности выполнена спиральная канавка тех же размеров, что и у медного инструмента.Готовят полирующий состав, для чего берут силиказоль с 307 ь-ным содержанием РО 2 (плотность силиказоля 1,18 г/смз) и смешивают с деионизованной водой в соотношении объемов 1:3 соответственно. При данном соотношении полирующий состав содержит 8; золя кремниевой соли.Инструмент прижимают к пластинам с усилием Р=100 Н, что соответствует р=Р/8=100/0,01=10000 Па=10 кПа, и приводят его во вращение с частотой 15 об/с.Планшайбу с пластинами вращают с частотой 5 об/с. На пластины каплями подают полирующий состав (расход 3-10 мл/с).Процесс ХМП проводят в течение 3 ч.Съем составил 10 - 15 мкм....