Патенты с меткой «159233»

Номер патента: 159233

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H01L 21/306

Метки: 159233

...цх порчи прц травлец 3 и) подвергаются тщательному химическому травлецшо прц комнатной теъпературе в смеси четырех частей азотной и одной части плавцковой кислОт, я зятем п 130 мы 13 ают 13 бцлистцллиро 3 я.1 ИО воле. ПОсле этого пластины помещают в .,еталлцческий реактор, прцсосл;цспцый к вакуумной системе, и полвергают возлействио сухого и чистого газообразного фтористого водорода прц лавлеццц 30 - 80 л. рт. ст. ц кокв цатцой температуре в течение 20 - 40,ин. Послеловатсльцость воздействия газовых сред ца пластины кремния слелующая: атмосферный воздух, Вакуум, фтористый 30 д 0130 л, 13 акуум, атмосфе 13 цый возле.После тяког 001 эяоотки зцячеця ск 0130 сти п 013 е 1)хцостцой рскоз 1- бицации, измеренной во фторцстом:3 олороле,...