Устройство параметрического контроля интегральных схем

(51) П ИСАН И Е ИЗС) БР ЕТЕ Н И ЕТЕЛЬСТВ АВТОРСКОМУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССРЬ 1308956, кл. 6 01 й 31/28, 1987,Измерение параметров циФровых интегральных схемПод ред.Д.Ю.Эйдукаса иБ.В.Орлова, М 1982, с. 128, рис, 43,(54) УСТРОЙСТВО ПАРАМЕТРИЧЕСКОГОКОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ(57) Сущность изобретения: устройство содержит три циФроаналоговых преобразова- ь 2теля 1-3, три источника напряжения 4-6, коммутационную матрицу 7, измерительный преобразователь 8 напряжения (тока), аналого-циФровой преобразователь 9, формирователь 10, два одновибратора 11 и 12, элемент И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, времязадающие резисторы 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 1 И-ИЛИ 23, кварце-, вый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов, шины режимов 27 и 28, питания 29, входную 30, выходную 31, измерительную 32, времязадающую 33 и общую 34. 2 ил,Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для автоматического контроля статических и временных параметров интегральных схем (ИС), преимущественно времязадаюгцих схем, например, интегральных таймеров, одновибраторов,Известна система для контроля электрических параметров цифровых узлов, содержащая взаимосвязанные электронную вычислительную машину (ЭВМ) и блок сопряжения, выходы которого подключены к управляющим входам блока программируемых источников питания, блока измерителей и блока согласования, включающего коммутатор и формирователь нагрузок, выводы объекта контроля черезкоммутатор связаны с формирователем нагрузок, выходом блока прогрэммируемых источников питания и входом блока измерителей, выход которого подключен к ЗВМ. ЭВМ через блок сопряжения Настраивает соответствуюъцим образом формирователь нагрузок, коммутатор, блоки программируемых источников питания и измерителей, На выводы объекта контроля подаются требуемые испытательные напряжения. Сигнал с выхода объекта через коммутатор поступает на вход измерителя и преобразуется, э затем вводится в ЭВМ для обработки,Система не позволяет контролировать временные параметры, например длительность импульса времязадающих схем,Известно устройство парэметрйческого контроля интегральных схем; содержащее программируемый источник питания, цифровой измерительный прибор, контактирующий блок, коммутационную матрицу и узлы блока управления, причемвыходы программируемого источника питания, цифрового измерительного прибора и выводы контактирующего устройства связаны с коммутационной матрицей, а выходы блока управления подключены к входам программируемого источника питания, цифрового измерительного прибора и коммутационной матрицы,Устройство осуществляет тестовый программный контроль ИС только по статическим параметрам и не позволяет пРоводить полный контроль времязэдающих ИС.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство параметрического контроля интегральных схем, осуществляющее тестовый программный контроль ИС по статическим параметрам, Известное устройство содержит коммутационную матрицу, выходы которой подключены к выводам проверяемой микросхемы, последовательно соединенные цифроанэлоговые преобразователи (ЦАП) и источники напряжения, связанные с входамикоммутационной матрицы, и измерительный преобразователь напряжения (тока),5 вход которого подключен к выходу коммутационной матрицы, а выход - к входу аналого-циф рово го и реобрэзовател я (АЦП), Входы ЦАП, управляющие входы коммутационной матрицы, выходы и запускающий10 вход ЦАП связаны с магистралью управляю:щей ЭВМ. В начале каждого теста по сигналам управления от ЭВМ коммутационнаяматрица настраивается на измерение конкретного параметра и на выходах источников15 напряжения устанавливаются требуемыевеличины напряжений питания микросхем ирежимов измерения. Сигнал с выхода ИСпреобразуется в постоянное напряжение,пропорциональное измеряемому парамет 20 ру, и по истечении времени переходногопроцесса от ЭВМ поступает сигнал запускаАЦП, с выхода которого затем в ЭВМ поступает цифрбвой код измеренного параметрадля последующей обработки.25 Недостатком известного устройства является ограниченность функциональныхвозможностей, поскольку оно не позволяетпроводить контроль функционирования иточностных характеристик (длительностиЗО генерируемых импульсов) времязадзющихмикросхем, такйх как интегральные таймеры, одновибраторы,Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем35 обеспечения контроля временных параметров (длительности генерируемых импульсов) времяэадающих интегральных схем сдостаточной точностью.Поставленная цель достигается тем, что40 в устройство параметрического контроляинтегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, .второй и третийцифроаналоговые преобразователи с источниками напряжения на выходе, измеритель 45 ный преобразователь напряжения (тока) ианалого-цифровой преобразователь, причемвыходы коммутационной матрицы подключены к выводам проверяемой интегральной схемы, шины режимов, питания и измерительная50 шина коммутационной матрицы связанысоответственно с выходами источников напряжения и входом измерительного и реобраэователя напряжения (тока), выход которогоприсоединен к входу аналого-цифрового преобразователя, входы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входыкоммутационной матрицы, запускающий вход и выходы аналого-цифрового преобразователя связаны с магистралью ЭВМ, а общая шина коммутационной матрицы,источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения тока) присоединены к общей точке устройства, дополнительно введены параллельно соединенные времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, подключенный между времязадающим конденсатором и шиной питания коммутационной матрицы, релейный переключатель, источник опорного напряжения, измерительный и эталон 10 ный компараторы напряжения, элемент И-ИЛИ, счетчик импульсов, кварцевый ге- нератор импульсов, формирователь, первый и второй одновибраторы и элемент 15 И-НЕ с обмоткой релейного ключа на выходе, входы формирователя и одновибраторов объединены и связаны с магистралью ЭВМ, вход источника опорного напряжения присоединен к шине питания коммутацион ной матрицы, а его выходы - соответственно к инвертирующему входу измерительного и неинвертирующему входу эталонного компараторов напряжения, выход формирователя и неинвертирующий вход изме 25 рительного компаратора напряжения связаны с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий вход эталонного компаратора напряжения ивремязадающая шина коммутационной 30 матрицы соответственно через замы каю-. щий и размыкающий контакты релейного переключателя подключены к времязадающему конденсатору, выходы измеритель 35 ного и эталонного компараторов напряжения присоединены к первому и третьему входам элемента 2 И-ИЛИ, второй и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход перодновибраторов подключены к входам элемента И-НЕ. Стробирующий и счетный входы счетчика импульсов. присоединены соответственно к выходам элемента 2 И -ИЛИ и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов связаны с магистралью ЭВМ, Времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторы напряжения и источник опорного напряжения связаны с общей точкой устройства.Конструктивное исполнение предлагае 50 мого устройства позволяет автоматически осуществлять полный контроль параметров интегральных таймеров и одновибраторов,в том числе их временных параметров, таких как длительность генерируемых этими схемами импульсов, причем все функции упвого одновибратора присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа, аинверсный выход второго и выход первого равления процессом контроля и обработки результатов выполняет внешняя ЭВМ, которая реализует программу контроля, Введение в устройство времязадающих резистора и конденсатора, релейного и бесконтактного ключей, источника опорного напряжения, измерительного компаратора напряжения, формирователя, первой и второго одновибраторов, элемента И-НЕ; счетчика импульсов и кварцевого генератора импульсов позволяет проводить контроль. функционирования микросхем в режиме генерации временных интервалов и импульсов, что наряду с контролем статических параметров необходимо для полной оценки йх качества, Введение в устройство. эталонного компаратора напряжения, релейного переключателя и элемента 2 И-ИЛИ обеспечивает высокую точность контроля временных параметров за счет исключения влияния неСтабильности и разброса номиналов времязадающей цепи.На фиг,1 приведена электрическая структурная схема устройства параметрического контроля интегральных схем; на фиг.2 - временные диаграммы его работы.Устройство параметрйческого контроля интегральных схем содержит первый 1, второй 2 и третий 3 цифроаналоговые преобразователи ЦАП), первый 4, второй 5 и третий 6 источники напряжения, коммутационную матрицу 7, измерительный преобразователь 8 напряжения тока), аналого-цифровой преобразователь 9, формирователь 10, первый 11 и второй 12 одновибраторы, элемент И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, время- задающие резистор 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 2 И-ИЛИ 23, кварцевый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов и проверяемую интегральную схему 26 (фиг.1). Коммутационная матрица 7 имеет следующие шины: режимов 27 и 28, питания 29, входную 30, выходную 31, измерительную 32, времязадающую 33 и общую 34,Выходы ЦАП 1-3 связаны с входами источников напряжения 4-6, выходы которых подключены соответственно к шинам режимов 27 и 28 и йитания 29 коммутационной матрицы 7. Выход измерительного преобразователя 8 напряжения (тока) подключен к входу АЦП 9, а .вход - к измерительной шине 32 коммутационной матрицы 7, выходы которой связаны С выводами проверяемой интегральной схемы 26. Входная 30 и выходная 31 шины коммутационной матрицы 7 присоединены соответственно к выхо7 1751704 8ду формирователя 10 и неинвертирующемуруемые источники режима измерения и пивходу измерительного компаратора 21 на- тания микросхемы,пряжения,оесконтактный 14 и,релейный 15 Измерительный преобразователь 8 наключи и времязадающий конденсатор 18 пряжения (тока) преобразует величину изсоединены параллельно, а. между шиной 5. меряемого статического параметра (ток. питания 29 коммутационной матрицы 7 и потребления, выходное напряжение, входвремязадающим конденсатором 18 вклю- ные токи, токи утечки и т.д,) в пропорциочен времязадающий резистор 17, Кшине 19нальное и нормированное напряжениелитания коммутационной матрйцы 7 под- постоянного тока, которое с помощью ДЦПключен также, вход источника 20 опорного 10 9 преобразуется в двоичный цифровойнапряжения; выходы которого присоедине- код,:, .ны к инвертирующему и неинвертируюЩему Комммтутационная матрица 7 состоит извходам измерительного 21 и эталонного 22 группы реле, с помощью которых соответсткомпараторов напряжейия, вычходтьгкото- вующие выводы измеряемой микросхемырых. связаны с. первым и третьимвходами 15 26 подключаются к выходам источников 4-6элемента 2 И-ИЛИ 23, Инвертирутащий вход " напряженлия и входу измерительного преобэталонного компаратора 22 напряжения иразователя 8 напряжения(тока) при контровремязадающая шина 33 коммутационной ле статических параметров и к выходуматрицы 7 соответственно через замхыкатЮ.Формирователя 10, входу измерительногощий и размыкающий контакты релейного 20 компаратора 21 напряжения и времязадаюпереключателя 19 подключеныквремтязталда-. щей цепи при контроле Длительности имеющему конденсатору 18; Входы формирова- пульсов. В состав коммутационйой матри ье я 10 и первого 11 и второго 12 7 входиттакжеобмоткарелейногопереклюодновибраторов обьединены. Выход перво- чателя 19. Реле коммутационной матрицы 7.го одновибратора 11 присоединен к управ включается ходом измеряемого параметраляющему входу бесконтактного клеча 14, а по сигналам от ЗВМ, формируя схему измевыход второго одновибратора 12 - к второ- рения данного параметра.му и четвертому входам элемента 2 И - ИЛИ . Времязадающайцепь включает время 23, Выход первого 11 и инверсный выход, задающие резистор 17 и конденсатор 18,:второго 12 одновибратаров подключены к 30 бесконтактный 14 л релейный 15 ключи и ввходам элемента И-НЕ 13, выход которого совокупности сизмерительным компаратосвязан с обмоткой 16 релейного ключа, ром 21 напряжения и Формирователем 10Стробирующийисчетныйвходысчетчика 25 образует схему измерения длительностиимпульсов присоединены соответственно к выходного импульса проверяемой микро-выходам элемента 2 И-ИЛИ 23 и кварцевого 35 схемы, а в. совокупности с эталонным компагенератора 24 импульсов. : . ратором 22 напряжения - генераторВходы ЦАП 1 - 3; управляющие входы образцового интервала времени, Источник .,коммутационной матрицы 7, вход формиро опорного напряжения задает уровни по.-.вателя 10, запускающий вход и выходы АЦП рогов срабатывания компараторов. Форми 9 и выходы счетчика 25 импульсов связаны 40 рователь 10 вырабатывает импульс запускас магистралью ЗВМ, Источники 4-6 напря-, прбверяемой микросхемы при контролежения, общая шина 34 коммутациойной длительностиимпульса,матрицы 7, измерительный преобразова-Счетчик 25 импульсов подсчитываеттель 8 напряжения (тока), времязадающий чйсло импульсов, прошедших на его вход отконденсатор 18, бесконтактнйй 14 и реглей кварцевого генератора 24 импульсов за вреный 15 ключи, измерительный 21 и эталон-мя действия выходного импульса на егоный 22 компараторы напряженгия и стробирующем входе, т,е; является измериисточник 20 опорного напряжения связаны телем:временных интервалов,с общей точкой устройства.Проверяемая интегральная схема 26 от Одновибраторы 11 и 12 и элементы Иносится к классу времязадающих микросхемНЕ 13 и 2 И-ИЛИ 23 являются элементами(аналоговые таймеры, одновибраторы), синхронизации работы устройства, функпредназначена для генерации импульсов ции управления отдельными блоками устили стабильных временных интервалов и, ройства, синхронизации работы этихкакправило.содержитдвавхода(запускаю блоков, обработки результатов контролящий и вход для подключения внешней вре- (сравнения с нормой, классификации, арифмязадающей цепи), выход и выводы дляметических и логических операций, преоб. подключения источника питания, разования кодов, запоминания результатов)ЦАП 1-Зсисточниками 4-6 напряжения выполняет внешняя ЭВМ, связанная с уст-,ив выходе лредствелвхтт собой лрограмми. родством через магистраль,.1751704 10 9На фиг;2, где представлены временные янноготока, пропорциональноеиэмеряемодиаграммы работы устройства, обозначены: му параметру, и поступает на вход АЦП 9. Поа - код параметра (управляющий вход завершении коммутационных процессов вматрицы 7); коммутационной матрице 7 и переходныхб - реле матрицы 7;,5 процессов в источниках 4-6 напряжения ив - задержка на коммутационйые и пе- измерительномпреобразователе 8 напряреходные процессы. (Формируется програм- жения (тока) (фиг.2 в) сигналом от ЭВМ земно в ЭВМ); пускается АЦП 9 (фиг.2 г) и послег - импульс запуска АЦП 9, . преобразования. (фиг.2 е) код измеренногод - импульс запуска (входы блоков 10- 10 параметра с выходов АЦП 9 через магист 12, шина 30) раль вводится в ЭВМ (фиг,2 ж), где происе -задержка на время преобразования ходят его сраайейие с нормой, анализв АЦП 9 или измерителе временных интер-: результата сравненйяи запоминание ревалов (формируется программно в ЭВМ) зультата. Одновременно на управляющиеж - обработка результатов контроля 15 входы комаутационной матрицы 7 от ЭВМ(выполняется программно в ЭВМ);поступает сигнал отключения реле. При по. з - выходное напряжение первого одно- ложительном результйтеустройство перевибратора 11(ключ 14);: . : .: ходит к койтролю следующего параметра ии-еыходноенапряжениевторогооднб-. процесс повторяется;а приотрицательномвибратора 12;, -,:20 работа прекращается, Задержки на времяк - выходное напряжение элемента И-переходных процессов и преобразованияНЕ 13(ключ 15); .:;.:.; .; Формируются в ЭВМ:л - выходное напряжение измеряемой: Вторым этапом работы является контмикросхемы (шина 31, выходы блоков 21 и: роль временных параметров микросхемы;23);:-: :"; 25,ЦАП 1 и 2, источники 4 и 5 напряжения,м - вйходное напряжение эталонногоизмерительйый преобразователь 8 напрякомпаратора 22 (выход блока 23); . ,:" "пения (тока), АЦП 9 и шины режима 27, 28 иТ 1, Т 2, Тои,и Таз - длительности выходизмерительная 32 коммутационной.матриных импульсов соответственнь одновибра- . цы 7 не используются, дополнитрьно заторов 11 и 12 измеряемой,микросхемы и 30 действованы входная 30, выходная 31 иэталонного одновибратора.времязадающая 33 шины, В йсходном соУстройствопараметрическогоконтроля . стоянии релейный ключ 15 разомкнут, а, интегральных схем работает следующим об- бесконтактный ключ 14 замкнут, времязадаразом.: .:ющий конденсатор 18 полностью разряжен,Первым этапом работы является конт на выход измерительного 21 и эталонногороль статических параметров микросхемы, 22 компараторов напряжения логическиеОт ЭВМ через магистраль на управляю-, нули, релейный переключатель находится вщие входы коммутационной матрицы 7 и. исходном положении,входы ЦАП 1-3 поступают соответственНо . При контроле длительности импульсакоды измеряемого параметра, величины на испытуемой микросхемы (Тои) от ЭВМ напряжения питания и режимов измерения управляющие входы коммутационноймат-.(фиг.2 а). Включаются реле коммутационной - рицы 7 и входы ЦАП 3 поступают соответ. матрицы 7 (фиг,2 б), в результате чего соби-ственно код параметра Тои (фиг,2 а) ирвется схема измерения данного параметра, . величины напряжения питания, Включаютпутем подключения выводов измеряемой 45 ся соответствующие реле коммутационноймикросхемы 26 к соответствующим шинам матрицы 7 (фиг.26); вывод питания испытуекоммутационной матрицы 7; вывод питания мой микросхемы 26 подключается к шинеподключается к шине питания 29, запускаю- питания 29, запускающий вход - к входнойщий вход и вход для подключения времяза- шине 30, вход для подключения времязададающей цепи - к шинам режима 27 и 28, 50 ющей цепи - к времязадающей шине 33, а. к измерительной шине 32 подключаются выход - к выходной шине 31, на выходеодин из входов или выход микросхемы в, источника 6 напряжения устанавливаетсязависимости от измеряемого параметра. заданная величина .напряжения питанияНа выходах источников 4-6 напряжения ус- микросхемы. По истечении коммутационтанавливаются требуемые величины напря ных и переходных процессов (фиг,2 в) ЭВМжений питания микросхемы и режимовформирует импульс запуска (фиг.2 д), котоизмерения. Сигнал .с контролируемого вы-рый запускает первый 11 и второй 12 одноводамикросхемыпоступаетнавходизмери- вибраторы и через формирователь 10тельного преобразователя 8 напряжения одновибратор на испытуемой микросхеме.(тока), преобразуется в напряжение посто- На выходе последней и соответственно на15 ка 20 опорного напряжения, выбран равным 20 ся в ЭВМ Оценка качества испытуемой микросхемы в режиме генерации временных интервалов производится путем программного вычисления разности Тои-Тоэ, т.е, сравне ния измеряемого интервала с эталонным,. при этом исключается влияние нестабильности и неидентичности параметров время- задающей цепи, являющейся общей цепью при измерении Тои и Тоэ, что иллюстриру ется формулой 50 логические схемы, в том числе одновибраторы, счетчик и генератор импульсов, выполвыходе измерительного компаратора 21 (фиг,2 л) появляется напряжение логической единицы, которое, благодаря разрешающему импульсу длительности Т 2 на выходевторого одновибратора 12 (фиг,2 и), через 5 элемент 2 И-ИЛИ 23 поступает на стробирующий вход счетчика 25 импульсов, который начинает подсчет. тактовых импульсов, поступающих на его счетный вход от кварцевого генератора 24 импульсов, Одно временно на время действия импульса первого одновибратора 11 длительностью.Т 1 размыкается бесконтактный ключ 14 и начинаетсязаряд времязадающего конденсатора 18 от источника питания микросхемы через времязадающий резистор 17, При достикении напряжением на времязадаощем конденсаторе 18 значения,равного величине напряжения срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхемы (например, 23 от значения напряжения питания); на ее выходе и соответственно выходе измерительного компаратора 21 восстанавливается напрякениелогического нуля. Счетчик 25 импульсов прекращает работу и в нем фиксируется число импульсов, пропорциональное измеряемой длительности импульса микросхемы. В конце импульса первого одновибратора 11 (фиг.2 з), когда на выходе второго одновибратора 12 установилось напряжение логического нуля, через элемент И-НЕ (фиг.2 к) включается обмотка 16. релейного ключа 15, контакты которого шунтируют времязадающий конденсатор 12. Релейный ключ 15 вступает в работу по 3 завершении измерения временного интервала и не оказывает влияния на точность контроля, Время включения этого ключа определяется разностью Т 1-Т 2 и должно быть достаточным для полного разряда конден сатора, Параллельное включение бесконтактного 14 и релейного 15 ключей определяется необходимостью одновременного удовлетворения требований высокого быстродействия при размыкании цепи 4 (бесконтактный ключ 14 ) и большой нагрузочной способностью при замыкании (релейный ключ 15 ), Длительность импульса второго одновибратора 12 выбирается изусловия Т 2Тои максПо окончании процесса преобразования в измерителе временных интервалов (фиг,2 е) реле коммутационной матрицы 7 отключается, информация с выходов счетчика 25 импульсов через магистраль вводится в 55 ЗВМ, где происходит обработка результата контроля (фиг.2 ж) аналогично указанной при измерении статических параметров (сравнение с нормой; анализ и запоминание результата). Контроль длительности импульсов эталонного компаратора 22 напряжения (Тоэ) производится аналогично со следующими особенностями (фиг,2 м), Времязадающий конденсатор 18 посредством релейного переключателя 19 подключаетея к входу эталонного компаратора 22 напряжения, другие реле коммутационной матрицы 7 отключаются, отсоединяя испытуемую микросхему от блоков устройства, причем все переключения завершаются до начала импульса запуска. Порог срабатывания эталонного компаратора 22, определяемый величиной напряжения на выходе источнивеличине напряжения Срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхемы (2/3 от значения напряжения питания). Величина Тоэ также запоминаетТои = Тоз = 1,1 С й (мс),где С 1 и В - значения времязадающего конденсатора (мкф) и резистора (кОм),По окончании процесса контроля ЭВМ анализирует результаты контроля по отдельным параметрам и определяет группу годности или вид брака испытуемой микросхемыСогласно изобретению разработана техническая документация на предлагаемое устройство параметрического контроля, выполненное в виде классификатора интегральных таймеров типа КР 1006 ВИ 1, сма кети рован ы и оп робован ы отдельные его узлы, В качестве АЦП использована микросхема 1113 ПВ 1 А, источники питания и режима построены на ЦАП серии 572,нены на микросхемах серии 155, а коммутационные элементы - на герконовых реле, Измерительный преобразователь включает усилители напряжения и тока на операциОнных усилителях с масштабирующими (нормирующими) резисторами в цепи обратной связи. Формирователь согласует по напрякению и мощности выход ЭВМ и вход запуска испытуемой микросхемы и10 20 30 35 40 45 50 представляет собой транзисторный каскад с общим эмиттером, В качестве эталонного и измерительного компараторов напряжения применены микросхемы типа 521 САЗ с большим входным напряжением и мальки входными токами,Источник опорного напряжения состоит из двух резистивных делителей напряжения, подключенных между источником питания микросхемы и общей точкой. Соотношение резисторов первого делителя, подключенного к входу измерительного компаратора, выбрано равным 1;3 для четкой фиксации логических нуля и единицы на выходе испытуемой микросхемы, Соотношение резисторов делителя (прецизионного), подключенного к эталонному компаратору, выбрано 2:3, что соответствует параметрам внутреннего делителя испытуемой микросхемы типа КР 1006 ВИ 1, что необходимо для идентичности временных интервалов, генерируемых испытуемой микросхемой и эталонным компаратором, В качестве бесконтактного ключа применена микросхема серии КР 590; ЭВМ построена на БИС микропроцессорного набора серии КР 580. Введение новых элементов и связей выгодно отличает предлагаемое устройство от прототипа за счет возможности контроля временных параметров с необходимой.точностью.Таким образом, конструктивное выйолнение предлагаемого устройства расширяет функциональные возможности устройства на операциях контроля статических и временных параметров времязадающих интегральных схем,Формула изобретения Устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, второй и третий цифроаналоговые преобразователи, первый, второй и третий источники напряжения, измерительный преобразователь напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь, причем выходы коммутацианной матрицы подключены к клеммам для подключения объекта контроля, первая и вторая шины режимов, шина питания коммутационной матрицы соединены соответственно с выходами первого, второго и третьего источников напряжения, измерительная шина коммутационной матрицы соединена с входом измерительного преобразователя напряжения (тока), выход которого соединен с входом аналого-цифрового преобразователявходы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входы коммутационной матрицы и выходы аналого-цифрового преобразователя подключены к входам-выходам ЭВМ, выходы первого, второго и третьего цифроаналоговых преобразователей соединены соответственно с входами первого, второго и третьего источников напряжения, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет возможности контроля длительности импульсов навыходе обьекта контроля; в него введены времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, релейный переклвчатель, источник опорного напряжения, измерительйый и эталонный компараторы напряжения, элемент 2 И - .ИЛИ, счетчик импульсов, кварцевый генератор импульсов, формирователь, первый и второй одновйбраторы, элемент И-НЕ с обмоткой релейного ключа на выходе, входы формирователя и одновибраторов объединены и подключены к входам-выходам от ЭВМ, вход источника опорного напряжения соединен с шиной питания коммутационйой матрицы, а выходы подключены соответственно к инвертирующему входу" измерительного и неинвертирующему входу эталонного компаратора напряжения, выход формирователя и неинвертирующий вход измерительного компаратора напряжения соединены соответственно с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий вход эталонного компаратора напряжения и времязадающая шина коммутационной матрицы соответственно через замыкающий и размыкающий контакты релейного переключателя подключены к времязадающему конденсатору, выходы измерительного и эталонного компараторов напряжения соединены с первым и вторым входами элемента 2 И-ИЛИ, третий и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход первого одновибратора присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа, а инверсный выход второго и выход первого одновибраторов подключены к первому и второму входам элемента И-НЕ, стробирующий и счетный входы счетчика импульсов соединены соответственно с выходами элемента 2 И-И 4 И и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов подключены к входамвыхбдам ЭВМ, причем времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторы напряжения, источник опорного на-. пряжения, общая шина коммутационной матрицы, источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения (то1751704 ка) соединены с общей точкой устройства, запускающий вход цифроаналогового преобразователя соеДинен с входами-выходами от ЭВМ, времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи паралСоставитель Е, Строканьэктор А, Лежнина Техред М,Моргентал . Корректо ауленк Подписноепо изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 1 Тираждарственного комит113035, Москва лельно соединены между собой и подключены к первому выводу времязадающего резистора, второй вывод которого соединен с шиной питания коммутационной матрицы.