Устройство для изготовления рентгеновского электронно оптического преобразователя

ОЛ ИСАЙИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическимиРесттублик щ 86 О 169(5 )М. Кл., Н 01 3 9/42 Гееударотеееай комнтет аа делам изобретений в отерыткй(71) заявители 54) УСТРОЙСТВО ПЛЯ ИЗГОТОИ 1 ЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКОГО ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯИзобретение относится к электрическим газоразрядным и вакуумным электронным приборам и предназначено длятехнологического оборудования припроизводстве рентгеновских электроннооптических преобразователей и можетбыть использовано для изготовлениядругих фотоэлектронных приборов.Известны устройства для изготовления катодов электронно-оптических преобразователей, содержащие блок напыОпения металла на стеклянную подложку,печь обезгаживания стекла, блок задания и регулирования температуры печи, блок распыления гаэопоглотителей,т 5печь возгонки активирующего металлаи блок контроля вакуума 11 1,Однако в данном устройстве не ведется измерение чувствительности формируемого фотокатода, а при задании20величины тока печи ак тивировки катодане учитывается скорость роста фото%тока. После изготовления фотокатодане ведется тренировка прибора, Все это не позволяет автоматизировать технологический процесс и отрицательно влияет на качество преобразователя,Наибьлее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для изготовления рентгеновских электронно-оптических преобраэователен, которое содержит блок напыления металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температуры .печи обезгаживання, блок измерения чувствительности формируемого катода, блок контроля вакуума, соединенный с электронно-оптическим преобразователем, печь возгонки активпрующего металла с блоком регулирования тока, блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителем преобразователя 1 2 1,Однако при проведении операции обеэгажнвания происходит изменение вакузадания и регулирования температуры печи обеэгаживания, блок измерения чувствительности катода, блок контроля вакуума, печь возгонки активирую- щего металла с блоком регулирования тока печи возгонки, блок контроля скорости роста тока катода, блок рас- пыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, введен блок тренировки, содержащий высоковольтный источник напряжения, подключенный к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключенк делителю напряжения, соединенному санодами преобразовагеля, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блокаконтроля роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулирования тока печи возгонки, кроме того, блок распыления газопоглотителей содержит узел поочередной коммутации, имеющий три выхода, соединенных с распыпителями преобразователя, и узел автоматического программирования, соединенный с первым входом уз 35404555 8601ума в преобразователе, которое в известном устройстве регистрируется визуально по прибору, расположенному в блоке контроля вакуума, после чего вручную дается поправка на изменение температуры, которое пропорциональнозначению вакуума. Кроме того, при распылении газопоглотителей напряжение нанити накала каждой из трех спиралеи подается поочередно вручную, Величина напряжения при этом не учитывает значение вакуума преобразователя. В известном устройстве не предусмотрен блок тренировки. Все это отрицательно влияет на качество Формируемого фотокатода преобразователя и не поэволяет автоматизировать технологический процесс изготовления преобразователя,Цель изобретения - автоматизация технологического процесса изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя и повышение его качества.Поставленная цель достигается тем,что в устройство для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя, содержащее блок напыления металла на стеклянную подложкукатода, печь обезгаживания и обработкиповерхности напыленной пленки с блоком ЗО 69 4ла поочередной коммугации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контроля вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печи обезгаживания,Причем узел автоматического программирования содержит задающий гекератор, соединенный выходом с мульти- вибратором и.делителем частоты, каждый из которых соответственно соединен с первым и вторым входами переключающего каскада.На фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства для изготовления рентгеновского электронно-оптического преобразователя; на Фиг.2- блок-схема узла автоматического программирования.Устройство содержит блок 1 напыления металла на стеклянную подложку преобразователя 2, печь 3 обеэгаживания и обработки поверхности напыления пленки с блоком 4 задания и регулирования температуры печи о.езгаживания, блок 5 измерения чувствительности катода, блок 6 контроля вакуума в изделии, печь 7 возгонки активирующего металла с блоком 8 регулирования тока печи возгонки, блок 9 контроля скорости роста тока катода, блок 10 распыления гаэопоглотителей, содержащий узел 11 поочередной коммутации, подключенный к трем спиралям 12 гаэопоглотителей в преобразователе, и узел 13 автоматического программирования, блок 14 тренировки, содержащий высоковольтный источник 15 напряжения с делителем 16, подключенным к анодам 17 преобразователя, и стабилизатор 18 заданного значения тока тренировки, вход которого через высоковольтный источник подключен к переключателю 19Узел 13 автоматического программирования содержнт задающий генератор 20, делитель 21 частоты, ждущий мультивибратор 22 и переключающий каскад 23 вДля нагрева и обезгаживания преобразователя 2 предназначена печь 3. Задание температуры и ее регулирование осуществляется блоком 4,. При нагреве преобразователя происходит вы" деление. газов, поэтому вакуум в нем резко ухудшается, Если ухудшение вакуума достигает определенной границы, то возникает необходимость приостановить рост температуры или понизить ее.5 йбПоэтому в устройство заведена обратная связь с блока 6 контроля вакуумана вход блока 4 задания и регулирования температуры. Сигнал, пропорциональный значению вакуума автоматически устанавливает определенное значениетемпературы в зависимости от состояниявакуума в преобразователе. Для проведения возгонки активирующего металлав преобразователе предназначена печь7 возгонки, ток на которую подается сблока 8. Величина тока возгонки задается в определенной зависимости отскорости нарастания тока катода, Дляэтого на вход блока 8 регулированиятока печи возгонки подается сигнал сблока 9 контроля скорости роста токакатода. Измерение величины фототокакатода ведется блоком 5 который подключается с помощью переключателя 19 к выходу блока 9 или к входу блока 14тренировки катодов.Для проведения распыления газопоглотнтелей в преобразователе предназначен блок 10, состоящий из узлов поочередной коммутации 1 и автоматического . программирования 13, Узел поочередной коммутации автоматически получает на каждую иэ трех спиралей 2 газопоглотителей постоянный ток силой до 10 А длительностью 10-15 с, При расЪО пылении газопоглотителей происходит изменение вакуума в преобразователе, поэтому скорость распыления газопоглотителей, зависимая от силы тока, проходящего через спирали, должна изме няться, С этой целью на вход узла 1 поочередной коммутации подключается сигнал с блока 6 контроля вакуума, пропорциональный значению вакуума в преобразователе. Длительность импуль О са тока и частота подключения каждого гаэоаоглотителя к узлу 11 поочередной коммутации задается узлом 13 автоматического программирования.Узел автоматического программиро вания (фиг. 2) работает следующим образом. 0169 6.вению к входному импульсу смещен на 0,5 с, с целью создания паузы при поочередном прохождении тока через спирали газопоглотителя. Переключающий Формула изобретения 4 Задающий генератор 20 генерируеткратковременные импульсы с частотойР10-15 с, которые поступают на делитель 21 частоты н ждущий мультивибратор 22. Делитель 2 частоты работаеттаким образом, что на каждом из трехего выходов при приходе на его входимпульса поочередно устанавливаетсявысокий потенциал. Ждущий мультивибратор работает таким образом, что наего выходе высокий потенциал по отнокаскад 23 дает команду на поочередноеподключение тока распыления на однуиз трех спиралей газопоглотителей,Это достигается при совпадении положительных потенциалов с выходов делители 2 частоты и мультивибратора 22,Для проведения тренировки изделия в устройстве предусмотрен блок 14 тренировки, состоящий из высоковольт - ного источника 15, делителя 16 высоковольтного напряжения, подключенного к анодам 7 преобразователя и стабилизатора 18 заданного значения тока тренировки, Тренировка изделия ведется после вакуумной обработки. С целью автоматического изменения тока тренировки к входу блока стабилизации заданного значения через переключатель 19 подключен блок 5 измерения чувствительности фотокатода, При увеличении сигнала, снимаемого с блока 5, напряжение тренировки уменьшается до допустимого, определяемого технологией изготовления преобразователя. Использование делителя 6 напряжения, подключенного к двум анодам преобразователя, позволяет использовать один источник питания.Использование в предлагаемом устрой" стве блока тренировки, автоматического распыления и двух обратных связей по вакууму позволяет автоматизировать технологический процесс изготовления фотокатода, уменьшить количество обслуживающего персонала и повысить качество обрабатываемого изделия эа счет автоматизированного процесса обезгаживания, активировки и тренировки преобразователя,1, Устройство для изготовления рент геновского электронно-оптического преобразователя, содержащее блок напыйения металла на стеклянную подложку катода, печь обезгаживания и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задания и регулирования температурры печи обезгаживания, блок измерения чувствительности катода, блок контроля вакуума, соединенный с преобразователем, печь возгонки активирующего металла с блоком регулирования тока, 7 860 блок контроля скорости роста тока катода, блок распыления газопоглотителей, соединенный с распылителями преобразователя, о т л и ч а ю щ е - е с я тем, что, с целью автоматиэащи технологического процесса изготовления преобразователя и повышения его качества, в него введен блок тренировки, который содержит высоковольтный источник напряжения, подкЛюченный 1 О к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключен к делителю напряжения, соединенному с анодами преобразователя, а вход высоковольтного источника напряжения подключен через переключатель к выходу блока измерения чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контроля скорости роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулирования тока печи возгонки, причем блок распыления гаэопоглотителей, выполнен из узла гоочередной коммутации, имеющего три выхода, соединенных 169 8с распылителями преобразователя, иузла автоматического программирования,соединенного с первым входом узла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходомблока контроля вакуума, второй выходкоторого соединен с входом блока задания и регулирования температуры печиобезгаживания. 2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что узел автоматического программирования содержит задающий генератор, соединенныйвыходом с мультивибратором и делителем частоты, каждый иэ которых соответственно соединен с первым и вторымвходами переключающего каскада.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Японии У 487668,кл. 99 0 13, опублик. 1973.2. Авторское свидетельство СССРУ 475683, кл, Н 01 У 9/42, 1962860169 Составитель А, СенчихинТехред А.Бабинец Корректор Л. Иван актор Л. Тираж 784ИИПИ Государспо делам изоб5, Москва, ЖЗаказ 7562 Подписно енного комитета етений и открыт Раущская наб,д. 4/ 1130 илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна