Установка для очистки изделий

Номер патента: 484906

Авторы: Медведев, Мягков, Щербачев

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистинескихРеспублик(22) Заявлено 09,51) 080 /04 аявки-. с присоединением Гасударственный кемнт Севвта Мнннстроа ССС по делам нзойретеннй н аткрытнй) Авторы Аизобретения ов, Н, Г. Медведев, и Р. В, Шербвчев Заявитель 54) УСТАНОВКА ДЛ СТК ЕЛИЙ 2 20 Изобретение может использовать ся в оборудовании электронной промышленности для жидкостной химической обработки, в частности, для химической обработки кремниевых и ситалловых пластин.Известна установка для очистки изделий, содержащая предметный столик с приводом вращения, устройство для подачи и слива жидкости и щеточный узел, включающий механизм вращения и подачи щетки.,Однако в известной установке наблюдается стекание капель со щеток на обрабатываемые изделия, размазывание продуктов реакции и эатирание их в микронеров-. 15ности обрабатываемых иэделий,Цель изобретения - повышение качества очистки плоских хрупких изделий.Это достигается за счет того, чтопредметный столик снабжен углублениямипод изделия, ось вращения щетки смещенаотносительно оси вращения предметногостолика, а ось механизма подачи щеткиперпендикулярна к поверхности предметно-,го столика и наклонена относительно оси ф его вращения. Это повышает качествоочистки плоских хрупких изделий.На фиг, 1 изображена предлагаемаяустановка, общий вид, на фиг, 2 - разрез А-А нв фиг. 1; на фиг, 3 в ,;вид пострелке Б на фиг, 1,Установка имеет предметный столик 1,установленный на вертикальном валу 2привода вращения 3:Нв поверхности предметного столика 1 имеются радиальные пазы 4 и отверстия 5 для слива жидкостии углубления под изделия 6. Устройство7 для подачи жидкости на иэделия 6 содержит кольцевую полость 8 с отверстиями 9, Жидкость на щетку 10 подаетсяперфорированной трубкой 11. Щеточныйузел 12 содержит механизм вращения 13й механизм подачи 14. Механизм вращения 13 состоит из привода 15 со шкивоременной передачей 16 и валика 17, накотором закреплена щетка 10, ось вращения которой смещена относительно осивращения предметного столика 1. Валик17 размещен в поворотном стакане 18,связанном реечной передачей 19 с порш3 . 4невым приводом 20 механизма подачи 14, .влаги с,изделий 6 при аращении предмет причем ось механизма подачи щетки 10. " ного столика 1,перпендикулярна к поверхности предметногоПредмет изобретения;сто ика 1 и наклонена относительно оси . Р д б Рего вращения, Верхняя часть установки . бУстановка для очистки изделий, содерснабжена съемным колпаком 21, жащая предметный столик с приводомвращения, устройство для подачи и сливаПосле укладки изделий 6 включаются жидкости и щеточный узел, включающийпоследовательно привод вращении 3 пред- механизмы вращения и подачи щетки,метного столика 1, механизм вращения 1 О о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с де 13 щетки 10 и подается жидкость на из-.: лью повышения качества очистки плоскихделия 6 и щетки 10, Затем механизмом, хрупких изделий,:,предметный столик снабподачи 14 подводят щетку 10 к изделиям , жен углублениями под изделия, осьвраще 6 и начинают процесс мойки изделий 6 ния щетки смещена относительно оси враразличными технологическими жидкостями13 щения предметного столика, а ось механизпосле чего щетку 10 отводят в сторону и ма подачи щетки перпендикулярна к поверхвключают ее вращение. Подача жидкости ности предметного столика и наклонена от-,прекращается и ведется процесс удаления носительно оси его вращения.484906 В изб аказ ( ( Изд, Мо ЯЯ . Тираж 64 одп ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров ССС по делам изобретений и открытий Москва, ЖРаушская наб., д. 4/5

Смотреть

Заявка

1746703, 09.02.1972

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495

МЯГКОВ АЛЕКСЕЙ ТИХОНОВИЧ, МЕДВЕДЕВ НИКОЛАЙ ГРИГОРЬЕВИЧ, ЩЕРБАЧЕВ РУДОЛЬФ ВАЛЕНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B08B 11/04

Метки:

Опубликовано: 25.09.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/5-484906-ustanovka-dlya-ochistki-izdelijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка для очистки изделий</a>

Похожие патенты