ZIP архив

Текст

%080/00101,ОЙСТВО, содеустановлена ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРпО ДелАм изОБРетЕний и ОтнРытий ОПИСАНИ К АВТОРСКОМУ. жащее основание, на котором ЯОИ 2831 О коммутационная печатная плата, буферные схемы и зонды, электрически соединенные с соответствующей буферной схемой и коммутационной печатной платой, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышении надежности в работе, оно снабжено расположенным на коммутационной печатной плате установоч. ным элементом, на котором жестко закреплены зонды, а буферные схемы размещены на основании, причем электрическое соединениекаждой буфернбй схемы с соответствующим зондом выполнено в виде разъемного контактного соединения.1128310 ки. 2. Устройство по п, 1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что жесткое соединение зондов с установочным элементом выполнено в виде клеевого,Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для контроля электрических параметров микроэлектронных приборов непосредственно на полупроводниковой пластине перед скрайбированием . 5 и герметизацией их. Известно зондовое устройство с зондамив виде проволок, установленных на держате.лях, закрепленных на коммутационной плате 1 Ос радиально расположенными токопроводящимидорожками 111,Однако это устройство имеет недостаточнуюпомехозащищенность измерительных цепей,так как близость и параллельность расположе. 15ния металлических частей устройства - зондов и проводников на изоляционной плате -обуславливают возникновение паразитной емкости значительной величины.Наиболее близким к изобретению по техни- О.ческой сущности является зондовое устройством,содержащее основание, на котором установлена,коммутационная печатная плата, буферные схе.мы и зонды, электрически соединенные с соот.ветствуюшей буферной схемой и коммутационной печатной платой. Наличие буферныхсхем с активными элементами, электрическисоединенных с зондами и максимально приближ нных к измеряемым структурам, повышаетипомехозащищенность измерительных целен 3 Озондового устройства 21Однако наличие двух участков пайки на;каждом держателе, расположенных в непосредственной близости друг от друга и от актив.иых элементов буферной схемы, не позволяетдостичь необходимой точности сборки зондов всоответствии с топологией контролируемыхприборов. Последовательные тепловые воздей.ствия, необходимые для сборки зондового устройства, вызывают смещение рабочих концов 4 Озондов с контактных площадок контролируемыхприборов, оказывают неблагоприятное воздеиствие на активные элементы буферных схем,г. е. снижают надежность измерений.Цель изобретения - повышение надежностив работе,3, Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что зонды соединены с коммута. ционной печатной платой с помощью пай. Поставленная цель достигается за счет того, что зондовое устройство, содержащее основание, на котором установлена коммутационная печатная плата, буферные схемы и зонды, электрически соединенные с сОответствующей буферной схемой и коммутационной печатной платой, снабжено расположенным на коммутационной печатной плате установочньпи элементом, на котором жестко закреплены зонды, а буферные схемы расположены на основании, причем электрическое соединение каждой бу. ферной схемы с соответствующим зондом выполнено в виде разъемного контактного- соединения.При этом жесткое соединение зондов с установочным элементом выполнено в виде клеевого.Причем зонды соединены с коммутационной печатной платой с помощью пайки,На фиг. 1 изображено зондовое устройство, вид сверху; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1;. на фиг. 3 - буферная схема с активными элементами для одного зонда; на фиг, 4 - трубка контактной пары, про. дольный разрез; на фиг, 5 - то же, поперечный разрез; на фиг, 6 - вид Б на фиг, 2.Зондовое устройство содержит множество: зондов 1, выставленных в соответствии с топологией проверяемых электронных приборов 2 и закрепленных с помощью холодного соеди. нения 3, например клеевого, на цополнителыщм установочном элементе 4 и с помощью пайки 5 - на коммутационной печатной плате 6 с радиальными контактными дорожками 7, закрепленной на жестком основании 8 с по. мощью разъемного соединения, имеющего три захвата 9 и три винта 10. Механическое соеди. нение коммутационной печатной платы 6 с жестким основанием 8, осушествленно через опорную пластину 11, снабженную направляют щим штифтом 12, винт 13 и участок 14 крепления, выполненный либо за одно целое с жестким основанием 8, либо жестко скрепленный с ним с помощью клеевого соединения 15, Толщина участка 14 крепления в 2-3 раза превосходит толщину жесткого основания 8.Буферные схемы 16 с актцвшцмц элементами 17 размещены ца общем жестком осцо.ванин 8. Электрическая связь буферных схем16 с соответствующими зондами 1 осуществляется с помощью вибростойкого разъемногосоединения, содержащего контактную пару 18,состоящую из коццецтричцо расположенныхи жестко соединенных между собой с одногоконца 19 стержня 20 и трубки 21 с прорезя.ми 22 на противоположных концах. Заострен 10ные концы стержня 20 и трубки 21, являющиеся рабочими, взаимодействуют с плоскимиконтактными вьщодами 23, выполненнымина стороне коммутационной печатной платы 6,противоположной размещению зондов 1,, В участке соединения 15 выполнено металли.зированное отверстие 24 с металлизировацным торцовым участком 25 для неподвижногокрепления пайкой 26 трубки 21 контактнойпары 18, Пайка 26 и металлизированное от. 20верстие 24 и участок 25 через контакт 27осуществляют подачу рабочих напряжений наконтактную пару 18 через участок трубки .21,находящийся неподвижно в отверстии 24,Собранное зондовое устройство крепится кстойкам измерительного устройства 28. Подачарабочих напряжений на входы 29 буферныхсхем 16 осуществляется через кабель 30 иразъем 31. Выходы 32 буферных схем 16соединены с зондами 1.30Устройство работает следующим образом.При, измерении электрических параметровприборов 2, находящихся на полупроводниковой пластине, происходит периодический, почислу кристаллов на пластине, контакт зондов-. 351, выставленных в соответствии с топологией;с контактными площадками приборов 2, накоторые подаются рабочие напряжения черезразъем 31, кабель 30, входы 29 буферныхсхем 6 активные элементы 17, выход 32,)40контакт 27, металлизированные участок 25 иотверстие 24, контактную пару 18, плоскиеконтактные выводы 23, контактные дорожки7, пайку 5 и зонды 1.Зондовое устройство обеспечивает постоян 45ство расположения зондов 1 по трем коорди-,.натам х, у, г в пределах 50 мкм длительноевремя - порядка 1000 ч работы,Повышенная надежность контроля обеспечивается за счет того, что в предлагаемом уст 1, 50 ройстве закрепление зондов 1 к коммутацион. .ной печатной плате 6 с помощью паяцого сое. динения 5 осуществляется в состоянии, пред. варительно выставленном в соответствии с топологией и закрепленном на дополнительном 55 установочном элементе 4 холодным, например клеевым, соединением 3. При этом буферные схемы 16 с активными элементами 17 вынесецы цз цецосредствеццой зоны пайки 5, чтостало возможным в результате размещениябуферных схем 16 на общем жестком основь.ниц 8, т. е. устранена вероятность повреждения активных элементов в процессе сборкизоцдового устройства и повышена надежностьработы его измерительных цепей, Коммута.циоццая плата 6 с зондами 1 соединена собщим жестким основанием 8, на которомразмещены буферные схемы 16, с помощьювибростойкого разъемного контактного соеди.цеция, содержащего контактную пару 18 иплоские контактные выводы 23. Электричес.кий контакт осуществляется в 23 участкахв центре вывода 23 с помощью стержня.20и по окружности трубки 21, Усилие сжатия,осугцествляемое с помощью винтов 13, приложецо к средней части трубки 21, не имеюшей прорезей 22. При сборке прорези 22нижней части трубки 21 сжимаются до техпор, пока не войдет в контакт с выводами23 стержень 20, при этом стержень 20 вреза;ется острым концом в плоский контактныйвывод 23, а трубка 21 вызывает пластичес.кую деформацию вывода 23 иэ-за разностиплошадей соприкосновения - точка от стержня 20 и окружность от трубки 21,1 аким образом, имеет место надежныйразъемный подпружиненный, ввиду наличияпрорезей, контакт, необходимый в процессеработы устройства, сопровождаемой ударныминагрузками,В процессе сборки предлагаемого устройства устрацяется возможность как тепловыхвоздействий на зонды, так как пайка нх ккоммутационной плате осуществляется уже взакрепленном с помощью элемента 4 состояннии, так и механических воздействий, действующих в горизонтальной плоскости, способныхвызвать смешение зондов от положения, соот.ветствующего расположению контактных площа.док приборов 2. Последнее обеспечивается тем,что разъемное вибростойкое контактное сое.динецие обеспечивает за счет наличия, деформй"руюшихся прорезей 22 в трубке 21 строговертикальное перемещение коммутационнойплаты 6 с зондами 1 и жесткого основания8, а наличие опорной пластины 11 (металлической) со штифтами 12 и участка 14 крепле.ния, воспринимающих вертикальные усилия,позволяет максимально снизить деформациюкоммутационной платы 6 в вертикальном иап.равлении; Разъемное электрическое и механическоесоединение коммутационной платы 6 с жесткимоснованием 8 позволяет проводить сборкузондов в соответствии с топологией измеряеммых приборов 2 в наиболее благоприяпых1128310 Лусловиях - без воздействий нарушающих няполоаение факторов (механических, тепловых),т. е, обеспечивает наилучшие условия дляобеспечения плоскостности всех вершин зондов 1. Выполнение платы 6 съемной и с мини 5 мальным количеством элементов (дополнитель. ный установочный элемент 4, плоские контакт. ные выводы 23) позволяет сделать плату разо. вого использования. В этом случае повышается ремонтоспособность зондового устройства., Шишки Заказ 9073/4 о сное тнал,Тираж б 82осударственного комитета СССРизобретений и открытийа, Ж, Раушская наб д. 4(5 ВНИИПИ по дел 3035, Мосилиал ППП"Патент", г. Ужгород, ул илова Корректор А, Обручар

Смотреть

Заявка

3562373, 04.03.1983

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6429

МАКАРОВ ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ, СОКОЛОВСКИЙ ЮРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, БАШАРИН ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ, МИРОШКИНА ВАЛЕНТИНА ПАВЛОВНА, ТЕРЕХОВ СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: зондовое

Опубликовано: 07.12.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/5-1128310-zondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовое устройство</a>

Похожие патенты