Устройство для контроля контактирования в зондовых установках

1102062 Однако в известном усгройстве 45 внешний металлический слой зонда, соединенный с вторым входом блока иици" кации, используется только в режиме контроля контактирования и не несет информации в режиме контроля электрических параметров интегральных схем на пластине, так как в режиме измерения рабочая поверхность внешнего металлического слоя отключена отизмерительной цепи. 55 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениямэлектрических параметров интеграль"ньж схем на пластине.Наиболее близким к изобретению 5по технической сущности является устройство для контроля контактированияв зондовых установках, содержащееблок индикации, первые входы которого подключены к замыкающим контактам двухпозиционных коммутаторов,размыкающие контакты которых соединены с блоком измерений, а подвижные контакты соединены с соответствующими зондами, выполненными в виде 15внутреннего металлического со.сферической рабочей частью, разделительного диэлектрического н внешнего металлического слоев, при этом поверхность,образованная торцами разделительного 20диэлектрического и внешнего металлического слоев, расположена перпендикулярно оси зонда и удалена от верши;ны сферической рабочей части зонда на расстояние1 Ь-й йгде Ь - толщина металлического слояконтактной площадки,% - расстояние от вершины сфери. З 0ческой рабочей части зондадо поверхности, образованнойторцами разделительного диэлектрического и внешнегометаллического слоев; 35Р, - параметр шероховатости кон)тактной площадки,Я - параметр шероховатости сфер)рической рабочей части зонда, 40а вторые входы блока индикации соединены с внешними металлическими .слоями зондов 13 . Цель изобретения - повышение точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем. Поставленная цель достигается тем,что в устройстве для контроля контактирования в зондовых установках введены дополнительные двухпозиционныекоммутаторы, подвижный контакт каждогоиз которьж соединены с внешним металлическим слоем соответствующего зонда,замыкающие контакты - с внутреннимметаллическим слоем соответствующегозонда, а размыкающие - с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования.На фиг, 1 изображена схема устройства для контроля контактированияв зондовых установках; на фиг. 2 -узелна фиг. 1,Устройство содержит зонды 1-5,каждый из которых содержит внутренний металлический слой 6 со сферической рабочей частью 7, разделительный диэлектрический 8 и внешний металлический 9 слои, блоки 10 индикации контактирования, блок 11 измерений со схемой внешних элементов, двухпозиционные коммутаторы .12-16, каждый из которых имеет соединения замыкающим контактом с соответствующим входом блока 1 О индикации контактирования, размыкающим - со схемойвнешних элементов и блоком 11 измерений и подвижным контактом с внутренним металлическим слоем 6 зонда,дополнительные двухпоэиционные коммутаторы 17-21, каждый из которыхимеет соединения размыкающим контактом с вторым входом блока 10 индикации замыкающим контактом - свнутренним металлическим слоем 6зонда.Устройство работает следующим образом. Проверяется отсутствие паразит- ного контактирования между внутренним металлическим слоем зонда б и внешним металлическим слоем 9, для чего в устройстве коммутируется цепь, внешний металлический слой 9, размыка" ющий контакт соответствующего дополнительного двухпозиционного коммутатора 17"21, второй вход блока 1 О индикации, замыкающий контакт соответствующего двухпозиционного коммутатора 12-16, внутренний металлический слой 6 зонда. Если блок 10 индикации фиксирует отсутствие электрического тока в цепи, то паразит- ного контактирования нет, т,е. слои 6 и 9 изолированы электрически,1102062Проверяется наличие контакта меж- них элементов блока 11 измерений, ду зондами 1-5 и интегральной схемой обеспечивающий задание режима и изме, для чего зонды вводят в контакт рение электрических параметров, а с контактными площадками 23-27 инте- блок индикации отключается, В регральной схемы 22. з жиме измерения контактные площадкиСлой металла каждой контактной 23-27 испытуемойинтегральной схе.площадки замыкает между собой метал- мы 22 псдключены к схеме внешних лический слой 6 и 9, при этом блок элементов н блоку измерения к цепиф индикации фиксирует наличие элек- внутренний металлический слой 6 ратрического тока в цепи зонд - кон- :.1 О бочая часть 7, металлический слой 9, тактная площадка микросхемы. Если замыкающий контакт каждого коммутав процессе контактирования по ка- тора 17-21, внутренний металлической-либо причине отсутствует кон- кий слой 6, размыкающий контакт комтакт по сферической поверхности мутаторов 12-16, схема внешних, эле.рабочей части 7 зонда, то одновре ментов блока 11 измерения. менно отсутствует он и по рабочей Прн прохождении электрического поверхности 28 торца металлического тока одновременно по слоям 6 и 9 в слоя 9. В режиме контроля контакти- процессе измерения увеличивается пло-; рования схема внешних элементов блока щадь контактирования, что позволяет 1 1 измерений отключена от зондов и 2 О уменьшить переходное сопротивление блока индикации, между зондом и контактной площадкой,Режим измерения параметров испытуе- вследствие чего повышается точность . мой микросхемы заключается в том, и надежность контроля контактирования что к интегральной схеме подключа- при измерении электрических параметется блок измерения со схемой внеш- ров интегральных схем.1102062 епано Корр СоставителТехред М.Н торО. Тиго едактор Н,783 Подписноеенного комитета СССРтений и открытий5, Раушская наб д, 4 Заказ 4786/45 Тираж ВНИИПИ Государст по делам изобр 113035, Москва, Ж иал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна