Криогенный насос

(59 04 В 37/О ТЕНИ У Лени И,И кии орд нститут и ауки1975ство о тлиаждая труб. диненной к цом Ч-обец которои олости соОО ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ(56) 1, Вопросы атомной н и техники, вып. 1(4), Харьков, , с.152. Авторское свидетель СССР по заявке У 3316196/25-06,.кл. Г 04 В 37/08, 1981.(54)(57) 1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, вы." полненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, .шевронный и радиационный экраны, последний из которых снабжен охватываю щей его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду, о т Л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения расхода хлад- агента и повышения надежности насоса, он снабжен дополнительным франом, охватывающим сосуд и ра оложен.ным внутри радиационного экрана,и теплопроводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, адругим на верхней части дополнительного экрана, и крышка снабжена втулкой с кольцевой выемкой, перфорированное кольцо - пазом, а обечайка -выпуклыми верхним и нижним зигами,размещенными соответственно в выемке и пазу, причем в каждом зиге свнутренней стороны расположен бандаж2, Насос по п. 1, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что нижние торцы трубок-подвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей черезего центр тяжести.3. Насос по пп. 1 и 2,ч а ю щ и й с я тем, что кка-подвес снабжена подсоеее нижнему торцу одним конразной трубкой, другой конразмещен в верхней части псуда и имеет скос.нец которой размещен в верхней частиполости сосуда и имеет скос.На фиг. 1 изображен насос, продольный разрез; на фиг, 2 - узел 1 нафиг. 1; на фиг. 3 - узел П на фиг. 1;на фиг. 4 - узел ПГна фиг. 1.Криогенный насос содержит корпус 1 с крышкой 2 н установленные внем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, расположенногов корпусе на трубках-подвесах 4, шевчеронныи и радиационный экраны 5 и б,последний из которых снабжен охватывающейего обечайкой 7 с перфорированным кольцом 8 и размещен коаксиально сосуду 3.Насос снабжен дополнительным экраном 9, охватывающим сосуд 3 и расположенным внутри радиационного экрана 6, и теплопроводами 10, закрепленными одним концом на трубках-подвесах 4, а другим на верхней части дополнительного экрана 9, и крышка 2снабжена втулкой 11 с кольцевой выем.кой 12, перфорированное кольцо 8 -пазом 13, а обечайка 7 - выпуклымиверхним и нижним зигами 14, размещен.ными соответственно в выемке 12 и пазу 13, причем в каждом зиге 14 свнутренней стороны расположен бандаж 15.Нижние торцы трубок-подвесов 4.размещены в полости сосуда 3 надплоскостью, проходящей через егоцентр тяжести,Каждая трубка-подвес 4 снабженаподсоединенной к ее нижнему торцуопним концом Ч-образной трубкой 16,другой конец которой размещен в верхнейчасти полости сосуда 3 и имеет скос,При работе насоса откачиваемыйгаз конденсируется на сосуде 3.При предлагаемой конструкции насоса устранена необходимость прогревакорпуса и сокращено время выхода напредельный вакуум, так как весь объемвакуумного зазора крионасоса междукорпусом и радиационным экраном отделен от объема, непосредственно сообщающегося с откачиваемой камерой.Наличие теплопроводов позволяетосуществить более эффективный теплосъем с верхних частей трубок-подвесов. Так как трубки-подвесы выполнены более длинными и снабжены Ч-образными трубками теплопритоки по ним кхладагенту значительно снижены.Наличие на обечайке зигов с размещенными в них бандажами позволяет обеспечить возможность многоразовой и надежной сборки-разборки криогенного насоса 1 1084486Изобретение относится к вакуумнойтехнике.Известен криогенный насос, содержащий откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 11.В известном насосе имеет местозначительный расход хладагента,Известен также криогенный насос,содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элементвыполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, шевронный и радиационный экраны, последний из которых снабженохватывающей его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду 2:Недостатками известного насосаявляется неразборность конструкции,наличие подсоединительного фланцатолько снизу насоса и в связи с этимнеоптимальность конструкции дляиспользования его при откачке напылительных установок и других камер,где откачку надо производить снизу.Кроме того, в известном насосебольшой расход хладагента,Цель изобретения - снижение расхода хладагента и повышение надежности.Указанная цель достигается тем,30что криогенный насос, содержащийкорпус с крышкой и установленные внем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, расположенногов корпусе на трубках-подвесах, щевронный и радиационный экраны, послед З 5ний из которых снабжен охватывающейего обечайкой с перфорированнымкольцом и размещен коаксиально сосуду, снабжен дополнительным экраном,охватывающим сосуд и расположеннымвнутри радиационного экрана, и теплопроводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, а другимна верхней части дополнительного экрана, и крышка снабжена втулкой скольцевой выемкой, перфорированноекольцо - пазом, а обечайка - выпуклыми верхним и нижним зигами размещенными соответственно в выемке и пйзу,причем в каждом зиге с внутреннейстороны расположен бандаж.Кроме того, нижние торцы трубокподвесов размещены в полости сосуданад плоскостью, проходящей через егоцентр тяжести,55Каждая трубка-подвес снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу однимконцом Ч -образной трубкой, другой коого ко етений аушска ППП "Патент"г.ужгород, ул.Проектная аз 1956/28 Тираж 624 ВНИИПИ Государствен по делам изоб 113035, Москва, Ж, Р