Способ контроля геометрических параметров электровакуумных приборов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК В Н 01 1 9/42 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ Т ьные. Методи троля в электроваая техника",СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(56) 1, Лампы приемноусилителка определения причин брака, О330.000.2. Поляков Г. Ф. и др, Метоанализа геометрических параметркуумных приборов. - "Электронсер. 5, 1966, вып. 2, с. 80. 54) (57) 1. СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ с электронным потоком путем изготовления плоских шлифов продольных и попе. речных сечений прибора, измерения геометричес. ких параметров и сравнения с заданным значе. ЯО 1045304 А нем,отличающийся тем,что,селью повышения точности контроля и объективности анализа, до изготовления шлифов создают магнитное поле, перпендикулярное электронному потоку в приборе, перемещают его вдоль оси прибора, снимают характеристики токораспреде. ления между электродами в приборе, определя. ют область максимального. отклонения токорас. пределения от нормы и перемещают в этой об. ласти магнитное поле вокруг оси прибора, пос. ле чего сравнивают полученное токораспределение с эталонным и определяют вид нарушения геометрических параметров, а по. области мак. симального отклонения токораспределения - плоскость сечения для изготовления шлифа.2. Способ по п, 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что для создания магнитного поля исполь зуют электроды катодно.сеточного узла в ка . честве полюсных наконечников.кзобостснес отпосится к элект)онной .Схнике И МОЖСТ бЫТЬ ИСПОЛЬЗОВЗНО дЛБ КОНТроля И ан(- ЛИЗЗ ГСОМСТ)ИЧССКИХ ПЗРЗМЕТРОВ ЭлСКТРОВЗКУУ 1.нь)х и)иборов, В частности электронных ламп стсожнсвой конструкции В процессе 1 х произ во дс")а.Взвсстеы способы контроля и нализа элскт.р о в а к уу; лны х прибор оь, осн о в ан 1 ые на измеренииии геометрических и электрических парамет.ров приборов.Согласно известям способам определение Хапактсрио)ЧК ОСу ДЕСТВЛЯСТСЯ ПуТСМ ИССЛСДОва Н : ) Еа Па .ЛСН 13 СС ИЯ ИЛИ ЗнакОБОзф" (ИЯСТОВ:,.ООРСЛци 1) а)Е)КЦЪ ОПРСДСЛСН)ЫМИ "; С."т);ИЧС;КИ П Папа;:СБами и анатИЗЗ и" КЗЛЬ, ПаХ .(-РЗК 1 СРИСТИК )1 РИООГа, Е 3 ЯЕРСНИЯ МСЖ.З)с (т ) Г) ЧГ( Ст(КОС( ,(С) 10 Бедстя С)ОГО ПЗ.мсрсгя рЭисров )чс(тродов Вид)мОЙ части )Вибо, 1 01(та)а Со;ЭОЗЕОИ арМИОЬ 1 К- бооа; ис 10 льзовеи(ия рснт)с 10 телСвЕзионноГО;)т Сг(0(РОЫ НС ПОЭЗО;(11(ОТ УетаНОВИТЬ, ИМаст 1( ТаСото,".,",(РОДМЗ)а)( ЭЛСКРОДОВ ИЛП ПЗР 2 Л- )едыЙ с)В и мехлсктродных расстояиий, 3асс Б:,б)ать ( пл)с(Ость сеееИЛ, В кто. ВОЙ Еак(Э.ЗГ)ЬНО БыраЖСНЗ ДефорМапИЯ ЭЛСК- грод(:,:, ".)О".ЕЗЯ(я ОСНОВ)10 Й ПОИГИЕОЙ ОТКЛО.а., :,ЯС(Г)1 ЕСЕ.Г;: ГаБЗМСТООВ ПРИОРЗ.:Е: р,Ч,С ИХ 22. "СтрОВ ЭЛСКТЭОБЗ(уаЕЬ. ".РИО,ОС,СТРОННЬМ ПОТОКОМ ПУТЕМ ИЗГО- тв)- спя п)10, ки: плфов продолы х и попс. Бсч пь х (,(с, еий чи бора зъ 1 срсния ГсостоВСс кк и.о",;(стоог, и сравнснея с заданным зеачс (Кем., сохранения общей геометрической конфиг у рати и межэлектрсдных расстояеий дсталп (;риборз фе(сруот в неизменном поло ЖЕНИ)л)0(:СИД 1 1." КОМПЗУНДОМ 211 С:1(1(О ДЗННЬ:.Й СП(асб НЕ ПОЗВОЛЯЕТ Провсс(И4 С ".Оч;ьй:;);трс)ль бьс)(. ивеыи анализ Гсомс Г рн: х)1)с ларамсров злскровакуумных приоо ров,стек)ль(у 01;:бес(Сиваст очное измерс. пие размеров злск.родоь и мсжзлектродных расстояий тольк 0 В плоскости гнлиа Выбоо кото;.О. с у(асн,1 еособ позволяет Опрс)тэлить еесоохо - 0 мус Глоскость ссчс 1 ия прибора )(ля Ещиа По КОТОруу МОЖНО батлО бЕЯ Судить с .(рчн (с О.клонсни)( электрических парамст БОВ )ИбОра.0СЛ 1 З,З1)СТЬ(Я (ОВЬЮНИС тОЧНОСИ контр(:1 л и объск(:.Вности анализа геометрических 1 ара:.:строя злскт)овак(умеых прибо.РОВПостав 1 сн 2 я ,е,(ь достиГастся 1 СФ(, что, огл(Г( способу .(онтроля .Геометрическихпараметров злсктровакуумных приборов:элскт Онньм потоком 1 тс,",1 1 зготовлснияПЛОСКИХ НвгифОВ ПРОДСЛЬНЫХ И ПОПЕРЕЧНЫХ ПЗРЗМСТРв И СРавГСНИЯ С Зад;,НПЬМ ЗНЗЧСНИСМИЗГОТОВЛСНИЯ ЕЬЧИ;)0 а СОЗДЗЕВТ 1" агчт 10 ПО(С ПС)ПС 11 ТИКУЛ(РНОС 3.)(:(Т.;ОЛНОМУ ПОТОКУ и (Нит 2 ОХаоа КтсИ.:. Е(Н )К 0)ЗСПО-:,.СЧСНИЯ ме(Ду элсктрода:; Г;эибо; опседеляеот об. ЛЗСТЬ Уакс)маЛЬНОГО 011(ЛГНСБИЯ ТОКООаСПРС.ДСЛЕЕН 11 ОТ НОРМЫ ) ПС)Схе 21)т В Зтои 00" ласти магнитное поле Вокр о=и прибооаПОСЛС ЧСГО СРЗННИВ(ЕОГ 1)" асНО. С(ОРЗСПРЕ. це)с)и( с Эталонным и:и сд,1 л з Вид наругпсния геомстреглсс(ихЗраметров. а по Области а 2;(С)112 ЛЬНОГО Отк);01;С). Б: О;0ЗСПО пс)СИИ)С П)ОСКОст. ОССБИВ Ила ., " ) О(1 СНИЯ ЕБЦИфаанаг)яс.1021; терИСГКИ токо )а.СБЕПС 1.аежду ЭЧС)(.ТОДГО ;СТОЧНОГО Узла К"К ВУСН;ИС Г 01 ЕОСН.СН 2 КОНСЧНИКИ Магп".2 т ПоВ;1(Бает тощОСт,1 РИ ДСфОРМаЦИ ЗЛСК)РОДС; ВДОЛЬ ОСИ ПРИ. -Ора :;.(д зле(т),ся1 егзмсястся (агните(ый зазор и, соответствепно изменяется напряженПС);Я Ко 0 ЗЕ( (РЕБДИТ К 1.-1 Дэнсиге тс(орасг(р-".дс).сепся - области дс(соа(спрсдсБиа. и(сО"я От.)(О. Сн( О Бонотон.Бн Заоаллсльно:,; .;(сщэни .".С)1(з)ектродзь расстр я 1(1 Й ).Осас).".Ол О .111."з смс денис01 0 асЯ Рч )Н Я о 1; - П 10 ЧС 0; л- И , 10 С- ТО)зеосв )ивых нс наоъ 1 ас ся.Еа а)ЬГ, 1 ИЗООРЗЖСПа С СРЖНСВ Я ЛЗМПЗ, НОМЕНСИ:(ая МЕЖДУ ГОГНССЗМИ М ГНИТЗ ПРИ ПСРЕМСЕЦСНИИ СГО ВДОЛЬ ОСИ КатоДЗ По НапРЗВЛСНИЕ) С ) СЛЕ(1 З )/1 ) )а ,:СНСНЯ Т ОК)- распрсдсСЕя .Эа(; се)я то)1 анода , . и тока сст(и .,. Грн рс.":ееси 111.2(-та вдоль 0;.И Ка."С,.(с ; Па ( .;) - СТСРЖЬ СЕ 2 . ЛЗМПЗ В ПОПЕР,101; С(,)(01,: 1 О;С(С 1 ЗЯ ,Х(,(У (ОЛКСЗМ 1 (аг(-2 ГР ВРЗЕД(НИ( СГО ВОКРУ (Зтода:";, я нарая.,снн; сьтс,и указано СЭСЕКСИ: На (О(Г, 4КРИВЬС ПЗМСНСНИЯ то. КСЭЗСПОСС)СНИЯ Пз.". 61)2(ДСНРИ ИаНИГНОГО ПСПЧ РО ) г ( и; 2)а 12). а) иг д е. О)иг, - ПО Ос) О одина Оп 10 жсны значс ея тока анода и:ока сетки. По осн або)АСС (Л 1 ,)Г.От)(О)(С Раосто)НИС О ножки лаг,пь: до сс. Вди:. - ; Бс;лезсногс наконсч. 1 е(а.я:пита пр( .Лс-т)смс 1 С:1 и с. Вдоль осл лампы: з э)(г. :. - .,Гз, гавдос)та магит.псй псргсндикуляо)н:.)0 чэстяк( 2.01В ампы. НЕВОИ КОПЕ,)К)ц:, 3 10453Полюсные наконечники магнита, между которыми помещают пампу, по ширине должны быть равны диаметру баллона пампы; продоль. ный размер их должен быть равен или меньше 1/3 длины оксидного покрытия катода лампы,Зазор между полюсами магнита определяет.Уся диаметром баллона пампы, а напряженность поля между ними должна быль такой, чтобы при положении полюсных наконечников в сред. ней части лампы происходило полное отклонение электронного потока лампы на сетку т, е. чтобы ток сетки в этом положении быт 1 близким по значению току анода при отсутствю, воздействия магнитного поля на электронныйпоток,15На электроды пампы подают рабочий режими помещают лампу между полюсами магнитафиг, 1) так, чтобы направление магнитногополя было перпендикулярным электронномупотоку в лампе, Перемещая магнит от ножкиили купола баллона лампы вдольоси катода,записывают изменения тока анода и тока сетки1, Затем строят коивые зависимости токаСанода и тока сетки от положения магнита при.перемещении его вдоль оси катода пампы(фиг, 2), Пунктирными пиниями изображениякривые для годного прибора, а сплошными -ддя лампы, имеющей деформированные электроды с максимальным отклонением по сечениюММПосле этого помешают магнит (фиг, 3) вобласть максимального отклонения токораспределения область с сечением ММ), поворачиваютмагнит вокруг оси катода лампы и получаюткривые изменения тока анода и тока сетки 1в зависимости от угла поворота магнитного по.35ля относительно плоскости, проходящей перпен.дикулярно плоскостям анодов в лампе (фиг, 4),По этим кривым определяют направлениедефо маций электродов,40В данном примере на основании анализа фиг. 3 и 4 можно сделать заключение о том, что в лампе отклонение электрических пара.метров за пределы допусков произошло из-за деформации электродов в определенной области 45 и определенном направлении, а не по всей длине катода, вследствие чего изготавливать шлиф поперечный или прэдольный для сравнения сечения с конструктивным чертежом пампы нецелесоооразно. В этом случае необходимо оп ределить причину деформаций электродов в этой области. Если необходимо, например, определить уровень допустимой деформации электродов, то 04 4для изготовления олифа берут плоскость сече.ния пампы по Мй,Изменение токораспределения в области М 1 чпроизошло вследствие изменения магнитного за.зара между электродами лампы из-за их деформзця, так как электроды стержневых ламп,формируюгдие электронный поток, изготавливаются иэ магнитного материала, и в зазорахмежду стержнями - электродами происходитконцентрация магнитного поля, поэтому при мапсйшем отклонении зазора резко меняется на.пряженность магнитного поля, воздействующегона электронный поток в этой области.Для повышения точности и объективностиоценки геометрических параметров пампу пред. варительно как бы "ошупывают" со всех сторон магнитным щупом.Таким же способом можно оценивать нарущение токораспределения в лалшах с навитыми сетками, только там при начичии локальной дейоомации электродов изменяется или плот. ность электронного потока в этой области, или влияние электоического поля на электронный поток, Как в том, так и в другом случае при воздействии магнитного поля, перпендикуляр. ного электронному потоку, на область с дефор. мацией электродов будет иметь место откпо. пенис гокораспределенпя от токораспределения нормальной лампы. По этим изменениям токо- распределения также можно выбирать плоскость сечения пампы для изготовления шлифа или определять целесообразность его изготовления.Предлагаемый спосс б контроля и анализагеометрических параметров электровакуумных прибороз по сравнению с существуюшими позволяет определить уровень изменения токо- распределения в рассматриваемой области электронного прибора; обеспечивает точньп выбор плоскости сечения прибора дпя изготовления шлифа; дает возможность определить целесообразность изготовления шлнфа, т. е. заменить в ряде случаев разруцгающий способ контроля неразрушающим, а также позволяет разделить причины отклонения параметров прибора: об. шее смещение межэпектродных расстояний или локальные дефор 1 аши электродов по их дли. не.Благодаря этому значительно повышается точность контроля и анализа геометрических параметров электровакуумных приборов, что, в свою очередь. позволяет быстрее определять причины отклонений, своевременно сокрлцать потери от браков и тем самь 1 м повышать эф. фскзивность пр изводства.1045304 Редактор С. Пека о ррек то р А. каз 7565/54 Поднисно Л 2 с Составитель В. Александров Техред В, Далекорей Тираж 703 ВНИИПИ Государственного комитета. СССР по делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5