Способ изготовления светофильтров для коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов

О П И С А Н И Е (аоо 5 ееИЗОВРЕТЕ Н Иэе Союз Советски аСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(23) Приоритет СССР Опубликовано 15. 03.83Бюллетень10Дата опубликования описания 15 . 03 . 83 ве делам кзеаретенкй и етерытнй(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕТОФИЛЬТРОВ ДЛЯ КОРРЕКЦИИОСВЕЩЕННОСТИ ПРИ ЭКСПОНИРОВАНИИ ЭКРАНОВЦВЕТНЫХ КИНЕСКОПОВ 1Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологииизготовления светофильтров, применяемых при нанесении экранов цветныхкинескопов.Известны способы изготовления светофильтров нанесением на рабочую поверхность линзы фоточувствительногослоя с последующим экспонированиеми проявлением .13,Однако полученные такими способаоми покрытия, легко повреждаются механически, имеют малый срок службыи ограниченный диапазон оптическойплотности.15Известен также способ изготовления светофильтров, заключающийся ввакуумном напылении пленки хрома напромежуточный испаритель и перепылении пленки на кварцевую подложку све- отофильтра 1 2 ,Однако получить указанным способом светопоглощающее покрытие с необходимым распределением толщины пок 2рытия не представляется возможным из-за того, цто распыляемый материал конденсируется на холодную подложку поэтому не обеспечивается достаточная адгезия материала к промежуточ" ному испарителю и при перепылении на подложку рисунок искажается. Это делает невозможным получение свето" фильтров сложной асимметричной формы, необходимых для обеспечения равной экспозиции по всей площади экрана цветного кинескопа при его изго" товлении фотоспособом.Целью изобретения является повышение кацества цветных кинескопов.Указанная цель достигается тем, цто согласно способу изготовления светофильтров для коррекции освещен ости при экспонировании экранов цветных кинескопов, заключающемуся в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перепылении пленки на кварцевую подложКу светофильтра, напыление пленки3 10052осуществляют на промежуточный испаРитель, прогретый до 150 ф 5 С и подРожку, нагретую до ч 00+5 С, причемнапыление пленки на промежуточныйспаритель производят через трафарет.При этом наилучшее качество покэытия получается, если напылениеоосуществляют со скоростью 25 Ю /С,В предлагаемом способе промежуточный плоский испаритель служитподложкой конденсата, На нем с помощью трафарета создается предварительная Форма будущего покрытия,которое должно иметь конфигурацию, 1.1соответствующую типу кинескопа ираспределению плотности светофильтраи хорошую адгезию к подложке. Темпе.ратура промежуточного испарителя115 С является минимально допустимой температурой, которая обеспечивает формирование конденсата, не отслаивающегося при последующем перепылении, Нагрев до более высокой температуры практически нецелесообра- дзен, так как не оказывает влиянияна качество покрытия.Что касается состава и парциального давления остаточных газов вовремя напыления давление нижеЗО8 10 4 Па), то они не оказывают стольсущественного влияния на адгезиюпленки к промежуточному испарениюили к подложке светофильтра, которое привело бы к отслаиванию осажМденной пленки, Степень загрязненияподложки оказывает существенное влияние на свойства пленок, поэтому промежуточный испаритель очищается прокалкой в вакууме при температуре нен 40сколько высшеи, чем температура ис"парения хрома.Подложка светофильтра также подвергается очистке,Выбор температуры подложки светофильтра обусловлен следующим соображением. Прогрев подложки долженсоздать высокую адгезию материаласветофильтра к ее поверхности, чтобыобеспечить длительную ( не менее года)эксплуатацию светофильтра в произ фводственных условиях, Понижение температуры подложки при напылении сопровождается резким ухудшением адгезии пленки светофильтра к ее поверхности. Повышение темпеоатуры под- Ыложки :верх оптимальнойТ=100150 С)увеличивает впекаемость пленки впрозрачное основание, что существен 12 4но затрудняет процесс регенерации дорогостоящей подложки после выходаиз строя светофильтра,Если напыление пленки на промежуточньй испаритель проводится при температуре ниже 15015 ф С то при перепылении конденсата на прозрачную подложку он частично отслаивается, чтоотрицательно влияет на качество светофильтра (см.таблицу).Величина скорости напыления какна промежуточный испаритель, так ина подложку светофильтра выбрана экопериментально и является компромиссным решением двух конкурирующихзадач, а именно стремление получитьсплошную, беэостровковую пленку светофильтра при возможно малых толщинах требует увеличения скоростиосаждения, в свою очередь, слишкомэнергичное распыление вещества светофильтра сопровождается его разбрызгиванием, что приводит к искажениям градиента оптической плотностисветофильтра.Экспериментально установлено, чтонезначительные отклонения в парамет.рах процесса напыления влекут за собой в конечном счете заметные отклонения величин коэффициента прозрачности светофильтра. Критерием дляопределения пределов изменения указанных параметров является требованиео недопустимости отклонения коэффициента прозрачности светофильтра более чем на 2 в ту или другую сторону от требуемого при фиксированнойнавеске распыляемого вещества,Поверхностное распределение опти"ческой плотности светофильтра регули.руется площадью, формой и взаимнымрасположением отверстий трафарета,величиной навески испаряемого вещества, расстоянием между испарителями,а также между промежуточным испарителем и подложкой светофильтра.П р и и е р. По предложенному иизвестному способам изготовлены светопоглощающие покрытия на кварцевыхлинзах, используемых для корректировки светового потока на установкахэкспонирования мозаичных экрановб 1 ЛКЗЦ и экранов со щелевой маской25 ЛК 2 Ц.Изготовление светофильтров дляэкспонирования экрана 25 ЛК 2 Ц осуществляется в установке вакуумного напыления УРН 3.279.017 следующим образом.5 10052Вольфрамовые ленточные испарители выставляются один над другим таким образом, чтобы линия, соединяющая их центры, являлась вертикалью длиной 90 мм, плоскости испарителей при этомдолжны быть горизонтальны, С нижней поверхностью верхнего промежуточного испарителя совмещается трафарет. В нижний испаритель помещается навеска металлического хрома массой 20+0,1 мг 0 После достижения вакуума р=81 ОфПа на промежуточный испаритель,нагретый до температуры Т=1505 С, напыляется хром. Затем удаляется трафарет, а между испарителями, соблюдая взаим ную центровку, устанавливается подложка - кварцевая линза ф 227 на рас стоянии 18 мм от промежуточного испарителя и на ее верхнюю поверхность нагретую до 40015 С, сублимируетсящ конденсат с промежуточного испарителя,Светофильтры, полученные по известному и предлагаемому способам, ис пользованы прифотоэкспонированииэкранов.Результаты корректировки светового потока указанными светофильтрами сведены в таблицу, где в относительных единицах даны величины све 12 бтового потока, замерянные в пятнадцати точках на поверхности экрана.Из таблицы видно, что даже при симметричном распределении светового потока установки фотоэкспонирования коррекция лучше обеспечивается светофильтром, полученным по предлагаемому способу, Д при несимметричной индикатрисе излучения световода коррекция обеспечивается только све тофильтром, изготовленным по предлагаемой технологии(см. графу отклонения реальной освещенности от требуемой),Применение предлагаемого способа изготовления светопоглощающего покрытия обеспечивает по сравнению с известным следующие преимущества: возможность изготовления несимметрич ных светофильтров сложной конфигурации; простоту технологии.Технологическая простота позволяет реализовать его на любой установке вакуумного напыления.Изготовленные по предлагаемому способу светопоглощающие покрытия для корректировки светового потока на установках экспонирования дают возможность наладить серийный выпуск экранов цветных кинескопов 25 ЛК 2 Ц и улучшить качество экранов кинескопов 61 ЛКЗЦ.+О О Чв о о е о 1 1111ы з ы а С 1щ Ъ Оеьа ФО а 1 О 1 9 Е у ы Э Х а 1 о ы О Х мъ о о о еОО О ч ч о ОЪл о е О Ъ а а а ЮО ОО л о а ОЪ ч ей ОЪ ЮО м л м ъ Ъ м еС ф о л е м м Ю ч о о о о ч о ОЪ са оо е Р " оо а ы Л 1 ОЭ О а о о ф е. ОЪ О о о о о о О О о очо ч м м ф О ЪО Щ ЪО е м м Ю ОО О О о о О Ч ОЪОЪ О о о о с Щ а щ 2 11 ыМоо мс ОЪ ОЪ ещО Фф Ъ ОЪ ОЪ ОЪ ЖОЪ о О ОО е е ещ Оо ф о о ОЪ е е о мч ОЪ ОЪ ОЪ ф ВО ОЪ РР 1 11 Фв 1 щЮо1 У0 131 й1 щ с Ъ 1 3 1 1 О 1 Ьщощфыа 1 щ1Ол 1 щ 1 Ф вы 1 1 Эщ 1 1 Л 1 11 1 1 1 р 1Ъ 1 з з 11 1 11 1 що 1 1 й11 1фо1 О1005212 10напыление пленки на промежуточныйиспаритель производят через трафарет.1. Способ изготовления светофильт, Способ по п,1, о т л и ч а юров для коррекции освещенности при щ и й с я тем, что напыление и пеэкспонировании экранов цветных нине репыление пленки осуществляют .соскопов, заключающийся в вакуумном скоростью 25 М А/С.напылении пленки хрома на промежу" Источники информации,.точный исПаритель и перепылении плен принятые во внимание при экспертизеки на кварцевую подложку светофильт- . 1. Иалкиель В. С. Современное сора, о т л и ч а ю щ и й с я тем, в стояние и пути улучшения качествачто, с целью повышения качества цвет- цветных кинескопов. Зарубежная эленных кинескопов, напыление пленки осу- тронная техника, 19140), 1976,ществляют на промежуточный испари- стр. 31-32,тель, прогретый до 15 Ы 5 ф С и под. Патент США М 3106488,ложку, нагретую до 400+5 фС, причем 1 з кп. 117-215, опублик.1968 ( прототип),Составитель В.АлександровРедактор М.Петрова Техред Н.Тепер Корректор А,ференцг е ш ж Заказ 1916/72 Тираж 701 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква, Ж, Раушская наб д.4/5 филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4